[發(fā)明專利]一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410846143.4
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN104498169A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設計）人: 聶金根
• 申請（專利權）人: 鎮(zhèn)江市港南電子有限公司
• 主分類號: C10M173/02
• 分類號: C10M173/02;C10N30/04
• 代理公司: 上海海頌知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

1.一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液，其特征為，其組成成分按重量份數(shù)計為：

聚乙二醇???????????????50-60份、

水楊酸?????????????????5-10份、

硫代硫酸鈉?????????????8-16份、

三甘醇?????????????????2-7份、

羧甲基纖維素???????????10-18份、

烷基丁二酸酯磺酸鈉?????0.5-5份、

三乙醇胺???????????????????25-30份、

表面活性劑??????????????4-12份、

分散劑???????????????????4-12份、

水?????????????????????30-35份。

2.如權利要求1所述的一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液，其特征為，優(yōu)選的，其組成成分按重量份數(shù)計為：

聚乙二醇???????????????50份、

水楊酸?????????????????6份、

硫代硫酸鈉?????????????12份、

三甘醇?????????????????5份、

羧甲基纖維素???????????13份、

烷基丁二酸酯磺酸鈉?????1.2份、

三乙醇胺???????????????????25份、

表面活性劑??????????????6份、

分散劑???????????????????6份、

水?????????????????????32份。

3.如權利要求1或2所述的一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液，其特征為，所述的表面活性劑由月桂酰肌胺酸鈉，十二烷基二苯醚二磺酸，四丁基氫氧化銨以1:3:2的重量份數(shù)比混合而成。

4.如權利要求1或2所述的一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液，其特征為，分散劑為丙烯酸和乙烯酸以2:3的重量份數(shù)比混合而成。

5.如權利要求1或2所述的一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液，其特征為，所述聚乙二醇與三乙醇胺的重量份數(shù)比為2:1。

6.如權利要求1或2所述的一種優(yōu)質(zhì)硅片切削液，其特征為，所述表面活性劑與分散劑的重量份數(shù)比為1:1。