[發(fā)明專利]一種運(yùn)用貼膜工藝的POP封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410843559.0 | 申請日: | 2014-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN104658933A | 公開(公告)日: | 2015-05-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李濤濤;梁天勝 | 申請(專利權(quán))人: | 華天科技(西安)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;H01L21/56;H01L23/31 |
| 代理公司: | 無 | 代理人: | 無 |
| 地址: | 710018 陜西省西安*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 運(yùn)用 工藝 pop 封裝 結(jié)構(gòu) 及其 制備 方法 | ||
1.一種運(yùn)用貼膜工藝的POP封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述結(jié)構(gòu)包括下封裝體和上封裝體;下封裝體主要由下封裝體基板(4)、焊盤(13)、焊球凸點(diǎn)(6)、芯片(5)、下封裝體基板上表面焊球(1)、塑封體(8)和下封裝體基板下表面焊球(2)組成,所述下封裝體基板(4)的下表面通過焊盤(13)連接有下封裝體基板下表面焊球(2),所述下封裝體基板(4)上表面的焊盤(13)上有焊球凸點(diǎn)(6),所述芯片(5)焊接在焊球凸點(diǎn)(6)上,所述下封裝體基板(4)上表面的焊盤(13)上還有下封裝體基板上表面焊球(1),所述塑封體(8)包裹焊球凸點(diǎn)(6)、芯片(5)和下封裝體基板上表面焊球(1)的下部分;
上封裝體主要由上封裝體基板(9)、焊盤(13)、上封裝體的焊球凸點(diǎn)(11)、上封裝體芯片(10)、底部填充膠(12)和上封裝體基板下表面焊球(3)組成,所述上封裝體基板(9)的下表面通過焊盤(13)連接有上封裝體基板下表面焊球(3),所述上封裝體基板(9)上表面的焊盤(13)上有上封裝體的焊球凸點(diǎn)(11),所述上封裝體芯片(10)焊接在上封裝體的焊球凸點(diǎn)(11)上,所述底部填充膠(12)包裹上封裝體的焊球凸點(diǎn)(11)、上封裝體芯片(10)的部分和上封裝體基板(9)的部分;所述下封裝體基板上表面焊球(1)和上封裝體基板下表面焊球(3)相互對位焊接。
2.一種運(yùn)用貼膜工藝的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,具體按照如下步驟進(jìn)行:
步驟A:下封裝體基板(4)上表面倒裝上芯和回流焊,下封裝?體基板(4)通過焊盤(13)、焊球凸點(diǎn)(6)與芯片(5)互連形成電流通路;
步驟B:在下封裝體基板(4)上表面的焊盤(13)區(qū)域制作焊球,形成下封裝體基板上表面焊球(1),下封裝體基板上表面焊球(1)之與下封裝體基板(4)上表面的高度大于芯片(5)之與下封裝體基板(4)上表面的高度;
步驟C:在下封裝體基板上表面焊球(1)上表面貼膠膜(7),使部分下封裝體基板上表面焊球(1)陷入膠膜(7)的膠層內(nèi);
步驟D:對下封裝體塑封,所述塑封體(8)包裹焊球凸點(diǎn)(6)、芯片(5)和下封裝體基板上表面焊球(1)的下部分;
步驟E:揭膠膜(7),暴露出下封裝體基板上表面焊球(1)的上表面;
步驟F:在下封裝體基板(4)下表面的焊盤(13)區(qū)域制作焊球,形成下封裝體基板下表面焊球(2);
步驟G:上封裝體基板(9)通過焊盤(13)、上封裝體的焊球凸點(diǎn)(11)與上封裝體芯片(10)互連,底部填充膠(12)包覆四者互連區(qū)域,在上封裝體基板(9)下表面的焊盤(13)區(qū)域制作焊球,形成上封裝體基板下表面焊球(3);
步驟H:將下封裝體基板上表面焊球(1)和上封裝體基板下表面焊球(3)相互對位焊接,在下封裝體上表面完成上封裝體貼裝,形成堆疊結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種運(yùn)用貼膜工藝的POP封裝結(jié)構(gòu)的?制備方法,其特征在于,就步驟B、步驟C的另外一種工藝為:
步驟B:在下封裝體基板(4)上表面的焊盤(13)區(qū)域制作焊球,形成下封裝體基板上表面焊球(1),下封裝體基板上表面焊球(1)之與下封裝體基板(4)上表面的高度等于芯片(5)之與下封裝體基板(4)上表面的高度,芯片(5)為漏芯片;
步驟C:在下封裝體基板上表面焊球(1)上表面貼膠膜(7),使部分下封裝體基板上表面焊球(1)和部分芯片(5)陷入膠膜(7)的膠層內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種運(yùn)用貼膜工藝的POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,就步驟B、步驟C的另外一種工藝為:
步驟B:在下封裝體基板(4)上表面的焊盤(13)區(qū)域制作焊球,形成下封裝體基板上表面焊球(1),下封裝體基板上表面焊球(1)之與下封裝體基板(4)上表面的高度大于芯片(5)之與下封裝體基板(4)上表面的高度,芯片(5)為漏芯片;
步驟C:在下封裝體基板上表面焊球(1)上表面貼膠膜(7),使部分下封裝體基板上表面焊球(1)和芯片(5)的部分表面陷入膠膜(7)的膠層內(nèi)。
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