[發明專利]一種用于超聲掃描顯微鏡的可變頻變焦換能器制作方法在審
| 申請號： | 201410842593.6 | 申請日： | 2014-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN104624462A | 公開（公告）日： | 2015-05-20 |
| 發明（設計）人： | 肖會芳;陳丹;徐金梧;楊荃;黎敏 | 申請（專利權）人： | 北京科技大學 |
| 主分類號： | B06B1/06 | 分類號： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 超聲 掃描 顯微鏡 變頻 變焦 換能器 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于超聲掃描顯微鏡的可變頻變焦換能器制作方法，其特征在于包含如下步驟：
①采用微機械加工在單晶硅上獲得五種曲率半徑不同的自聚焦曲面，曲率半徑由聚焦超聲波的焦距確定；
②分別在上述不同曲率半徑的自聚焦曲面上沉積得到五種不同厚度的ZnO壓電薄膜晶片，薄膜晶片的厚度由公式t＝ncp/2f確定，其中n＝1，3，5…,cp為壓電晶片中的縱波聲速，f為壓電晶片的諧振頻率；
③分別選用Au和Al作為壓電換能器的前后電極，通過微機械加工工藝分別在各ZnO壓電薄膜晶片的前后面上引出；
④將五種不同厚度的壓電薄膜晶片封裝為一個整體，并用SAM電子連接器連接形成可變頻變焦的壓電換能器。
2.如權利要求權所述的一種用于超聲掃描顯微鏡的可變頻變焦換能器制作方法，其特征是所述的曲率半徑由聚焦超聲波的焦距確定。
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