[發(fā)明專利]一體成型管靶的生產(chǎn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410841972.3
• 申請(qǐng)日: 2014-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN104480437A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋愛謀;鐘小亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東昊軒電子陶瓷材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;B22F3/16;B22F3/04
• 代理公司: 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 37212
• 代理人: 馬俊榮

1.一種一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于將由靶材材料元素組成的靶材材料粉末置于包套中，在真空條件下進(jìn)行熱等靜壓形成管靶，在熱等靜壓結(jié)束后，除去包套中的外管和固定環(huán)，得到內(nèi)為襯管外為靶管的坯材，該坯材經(jīng)機(jī)加工即得一體成型管靶；所述的包套包括同軸設(shè)置的內(nèi)管和外管以及用于固定內(nèi)管和外管的兩端的固定環(huán)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于所述的內(nèi)管為304L不銹鋼內(nèi)管。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于所述的內(nèi)管的外表面有電鍍鉻層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于所述的外管為304L不銹鋼外管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于所述的外管的壁厚小于內(nèi)管的壁厚，且外管的內(nèi)徑與內(nèi)管的外徑的差值為靶管的厚度的1-5倍，外管上預(yù)焊有抽氣管。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于所述的熱等靜壓的溫度為1000-1400℃，壓力為100-170MPa，時(shí)間為1-8小時(shí)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于所述的一體成型管靶的相對(duì)密度為99-100％，純度為99.9-99.999％，平均粒徑為1-100微米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于步驟如下：

(1)制備靶材材料粉末；

(2)裝料和排氣：將內(nèi)管和外管的一端焊接在一起，使兩個(gè)管子的軸心重合，在兩個(gè)管子之間形成厚度為靶管的厚度的1-5倍的腔體；然后將靶材材料粉末均勻地裝入腔體內(nèi)，裝畢后，在兩個(gè)管子的另外一端焊上，兩個(gè)固定環(huán)分別將腔體的兩端封閉住，最后通過預(yù)焊在外管上的抽氣管抽真空，至腔體內(nèi)真空度達(dá)到1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa；

(3)熱等靜壓：將內(nèi)裝有靶材材料粉末的包套置于熱等靜壓設(shè)備中，進(jìn)行熱等靜壓；

(4)機(jī)加工：將包套中的外管和兩個(gè)固定密封環(huán)除去，獲得內(nèi)為襯管外為靶管的坯材，將該坯材機(jī)加工成即得一體成型管靶。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于步驟(1)中所述的制備靶材材料粉末過程是將靶材材料元素粉末進(jìn)行混合、壓制、燒結(jié)，制得初始坯料，再將初始坯料粉碎即得靶材材料粉末。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一體成型管靶的生產(chǎn)方法，其特征在于步驟(2)中所述的腔體內(nèi)真空度達(dá)到1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa后，還可以充入氬氣，再抽至1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa，然后將整個(gè)包套放入加熱爐中，以80-120℃/h的速率升溫至600-900℃，在升溫過程中，持續(xù)抽氣，保持腔體內(nèi)壓力為1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa，保溫1-4h，保持腔體內(nèi)壓力為1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa，最后將抽氣口密封焊死。