[發(fā)明專利]一種用于銅互連的化學(xué)機械拋光液及工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410840226.2 | 申請日： | 2014-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN105803461A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王雨春;荊建芬;徐彥廷;石峰軍;姚穎;張建 | 申請（專利權(quán)）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C23F3/04 | 分類號： | C23F3/04 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務(wù)所 31246 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 互連 化學(xué) 機械拋光 工藝 | ||
【權(quán)利要求書】：
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