[發明專利]SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法在審
| 申請號： | 201410839802.1 | 申請日： | 2014-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN104538549A | 公開（公告）日： | 2015-04-22 |
| 發明（設計）人： | 廖霞霞;王惠瓊;王吉政;鄭金成 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | H01L45/00 | 分類號： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所(普通合伙)35200 | 代理人： | 馬應森 |
| 地址： | 361005福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | srtio3 電阻 開關 器件 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法，其特征在于包括如下步驟：
1)將未摻雜的SrTiO3單晶片清洗后放入石英玻璃管中，然后將石英玻璃管中的空氣用氬氣置換后密封；
2)將步驟1)中獲得的封裝好的含有SrTiO3單晶片的石英玻璃管加熱后，取出，冷卻至室溫，敲碎石英玻璃管即得高溫退火后的SrTiO3單晶片；
3)將步驟2)中高溫退火后的SrTiO3單晶片鍍金電極，取出后在SrTiO3單晶片的另一面滴上銀膠，成為銀電極，完成SrTiO3單晶電阻開關器件的制備。
2.如權利要求1所述SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法，其特征在于在步驟1)中，所述置換是利用抽真空裝置將石英玻璃管中的空氣用氬氣置換。
3.如權利要求1所述SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法，其特征在于在步驟1)中，所述密封是用氧炔焰熔斷石英玻璃管實現密封。
4.如權利要求1所述SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法，其特征在于在步驟2)中，所述加熱是在恒溫井式爐中加熱。
5.如權利要求1所述SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法，其特征在于在步驟2)中，所述冷卻是置于空氣中冷卻。
6.如權利要求1所述SrTiO3單晶電阻開關器件的制備方法，其特征在于在步驟3)中，所述鍍金電極是放入真空鍍膜機中鍍金電極。
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