[發明專利]一種移相干涉檢測振動抑制方法

有效

• 申請號: 201410838076.1
• 申請日: 2014-12-29
• 公開（公告）號: CN104534978A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 于杰;張海濤;馬冬梅;金春水
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01J9/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 劉慧宇

1.一種移相干涉檢測振動抑制方法，其特征是，該方法包括如下步驟：

步驟1，利用移相干涉儀采集一組N幅移相干涉圖，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法計算相位分布Ф₁，移相干涉圖的移相間隔需要滿足算法要求，算法滿足下式：

φ(x,y)=arctan[Σn=1NSnIn(x,y)Σn=1NCnIn(x,y)]---(3)]]>

式中，N為總的移相干涉圖幀數，In為第n幀移相干涉圖，Sn和Cn均為移相算法的系數；

步驟2，利用移相干涉儀自身的移相器，調整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8，待干涉儀穩定后采集一組干涉圖，干涉圖的數量與移相間隔與步驟1中的一致，采用與步驟1相同的算法計算出被測相位Ф2；

步驟3，利用移相干涉儀自身的移相器，調整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8，腔長的變化方向與步驟2的變化方向相同，待干涉儀穩定后采集一組干涉圖，干涉圖的數量與移相間隔與步驟1中的一致，采用與步驟1相同的算法計算出被測相位Ф3；

步驟4，調整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8，腔長的變化方向與步驟2、步驟3的變化方向相同，待干涉儀穩定后采集一組干涉圖，干涉圖的數量與移相間隔與步驟1中的一致，采用與步驟1相同的算法計算出被測相位Ф4；

步驟5，對步驟1、2、3和4獲得的四次測量結果進行像素對像素的波面平均，計算得到平均相位Фave＝(Ф1+Ф2+Ф3+Ф4)/4。

步驟6，利用公式計算得到平均波面W，完成整個測量。

2.根據權利要求1所述的一種移相干涉檢測振動抑制方法，其特征在于，步驟1-4中所述腔長變化λ/8為各步驟中同為增長λ/8或同為減小λ/8，其中，λ為檢測用光源的波長。