[發明專利]X射線裝置

有效

• 申請號: 201410833194.3
• 申請日: 2014-12-29
• 公開（公告）號: CN104777179B
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: D·貝克爾斯;S·普魯戈維奇
• 申請（專利權）人: 馬爾文帕納科公司
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 吳信剛

1.一種X射線衍射裝置，包括：

具有焦點的X射線源；

樣本臺；

焦點與樣本臺之間的平坦分級多層結構，用于將X射線從焦點引導到樣本臺上；以及

X射線檢測器，用于檢測來自安裝在樣本臺上的樣本的X射線；

還包括位于X射線源與樣本臺之間的準直器，其中準直器能夠調節為用于Bragg-Brentano幾何結構測量的大有效孔徑和用于SAXS測量的窄有效孔徑，其中所述大有效孔徑至少為0.1°并且所述窄有效孔徑不大于0.07°。

2.根據權利要求1的X射線衍射裝置，其中所述窄有效孔徑不大于0.05°。

3.根據權利要求1的X射線衍射裝置，其中準直器位于平坦分級多層結構與樣本臺之間。

4.根據權利要求1的X射線衍射裝置，其中準直器位于X射線源與平坦分級多層結構之間。

5.根據權利要求1的X射線衍射裝置，其中準直器具有可變寬度的縫隙孔徑。

6.根據權利要求1的X射線衍射裝置，其中準直器是具有可變寬度和/或高度的孔徑的二維準直器。

7.根據權利要求1的X射線衍射裝置，還包括布置在平坦分級多層結構與樣本臺之間的另外的平坦的、拋物線、橢圓或雙曲線形狀的多層結構。

8.根據權利要求1的X射線衍射裝置，其中X射線檢測器是位置敏感檢測器。

9.一種操作X射線衍射裝置的方法，該裝置包括：具有焦點的X射線源；樣本臺；焦點與樣本臺之間的平坦分級多層結構，用于將X射線從焦點引導到樣本臺上；X射線檢測器，用于檢測來自安裝在樣本臺上的樣本的X射線；以及位于X射線源與樣本臺之間的準直器，其中準直器能夠調節為用于Bragg-Brentano幾何結構測量的大有效孔徑和用于小角度X射線散射SAXS測量的窄有效孔徑，其中所述大有效孔徑至少為0.1°并且所述窄有效孔徑不大于0.07°，該方法包括：

調節準直器到寬有效孔徑并且以Bragg-Brentano幾何結構執行測量；以及

調節準直器到窄有效孔徑并且執行SAXS測量。

10.根據權利要求9的方法，還包括利用窄有效孔徑執行反射法測量。

11.根據權利要求9的方法，還包括利用二維窄有效孔徑執行微斑點分析測量。