[發明專利]一種硅微機械線振動式陀螺及其正交誤差剛度校正方法

在審

• 申請號: 201410830124.2
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN104535057A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 李宏生;曹慧亮;倪云舫;黃麗斌;徐露
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01C19/5733
• 分類號: G01C19/5733;G01C25/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

技術領域

本發明涉及硅微機械陀螺領域，具體涉及一種硅微機械線振動式陀螺及其正交誤差剛度校正方法。

背景技術

硅微機械陀螺是一種用MEMS(Micro-Electro-Mechanical?System，微機電系統)技術加工而成的慣性測量傳感器，其采用哥氏效應原理測量載體角速率信息，具有體積小、功耗低、重量輕、成本低、抗過載特性強、易于集成化和批量生產等優點。目前在很多領域都有應用，比如：慣性導航、汽車安全、工業控制、消費電子等。其最初誕生在上世紀80年代末，隨著加工工藝和測控技術的不斷發展，硅微機械陀螺的精度也逐漸提高，目前國際上硅微機械陀螺較高精度已經可達1°/h(零偏穩定性)以內，已經可滿足戰術級陀螺儀的精度需求。硅微機械線振動式陀螺作為硅微機械陀螺的一種，近年來得到各科研機構和公司的推崇，相比與其他工作方式的硅微機械陀螺(角振動式，轉子式等)，線振動式陀螺結構具有加工結構簡單，檢測信號線性度好等優點。目前，國際主流的精度較高的硅微機械陀螺大部分都采用了線振動結構。

圖1為典型的硅微機械陀螺儀組成結構示意圖，在理想的陀螺結構中，存在陀螺系統的動力方程為：

mxx··myy··+cxx02mcΩzcyyx·y·+kxx00kyyxy=Fdx0---(A1)]]>