[發(fā)明專利]一種圓片級(jí)封裝結(jié)構(gòu)及其工藝方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410828528.8 | 申請(qǐng)日: | 2014-12-26 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN104465586B | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-07-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 梁志忠;王亞琴 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/488 | 分類號(hào): | H01L23/488;H01L23/495;H01L21/60 |
| 代理公司: | 江陰市揚(yáng)子專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32309 | 代理人: | 周彩鈞 |
| 地址: | 214434 江蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基板 圓片級(jí)封裝結(jié)構(gòu) 引線框 芯片 圓片 金屬凸點(diǎn) 背面 底部填充膠 晶圓級(jí)封裝 單顆芯片 切割分離 圖面設(shè)計(jì) 正面設(shè)置 金屬層 塑封料 電鍍 包封 倒裝 圖面 錫球 整片 封裝 | ||
1.一種圓片級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的工藝方法,其特征在于所述方法包括以下步驟:
步驟一、取一圓片,圓片正面線路設(shè)計(jì)完全對(duì)應(yīng)于引線框圖面,單顆芯片尺寸等同于封裝尺寸;
步驟二、在圓片正面電極上制作金屬凸點(diǎn);
步驟三、在金屬凸點(diǎn)上制作錫球;
步驟四、圓片通過(guò)金屬凸點(diǎn)上的錫球倒裝于基板,基板單顆產(chǎn)品尺寸等同于單顆芯片尺寸;
步驟五、將完成倒裝的圓片與基板放入回流焊設(shè)備進(jìn)行回流焊;
步驟六、對(duì)完成回流焊的產(chǎn)品進(jìn)行正面切割,切至基板正面,切穿圓片;
步驟七、對(duì)完成圓片切割的切割槽內(nèi)注入底部填充膠,利用毛細(xì)現(xiàn)象填充芯片與基板之間空白區(qū);
步驟八、對(duì)完成底部填充膠填充后產(chǎn)品進(jìn)行塑封;
步驟九、對(duì)完成塑封后的產(chǎn)品進(jìn)行基板背面電鍍;
步驟十、對(duì)完成電鍍的產(chǎn)品進(jìn)行切割,分離單個(gè)產(chǎn)品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓片級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的工藝方法,其特征在于:所述圓片正面線路根據(jù)引線框圖面進(jìn)行扇出設(shè)計(jì)或引線框圖面根據(jù)圓片正面線路進(jìn)行匹配設(shè)計(jì)。
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