[發明專利]一種半導體存儲器件電學參數測試系統

在審

• 申請號: 201410827335.0
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN104681093A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 陳志輝;江安全;盧紅亮;張衛
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: G11C29/08
• 分類號: G11C29/08
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.?一種半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于包括測試機臺、計算機、控制軟件以及通訊電纜；其中：

所述測試機臺包括信號發生模塊、數據采集模塊、多檔電阻切換電路模塊、集成控制模塊；其中，信號發生模塊用于生成各種波形電壓激勵信號；數據采集模塊用于采集被測模塊模擬信號并轉化為數字信號；多檔電阻切換電路模塊用于調節整個測試電路系統的總串聯電阻及選擇信號輸出或信號回傳功能；集成控制模塊用于計算機集成控制信號發生模塊、數據采集模塊、多檔電阻切換電路模塊；

所述計算機用于安裝控制軟件以及存儲數據；

所述控制軟件用于用戶執行已編輯或用戶自定義編輯的測試程序模塊，以及監控和處理數據；

所述通訊電纜用于計算機與測試機臺互相通信；

系統的工作流程如下：首先，利用計算機通過通訊電纜及集成控制模塊控制信號發生模塊，生成用戶在控制軟件上編輯好的波形電壓激勵信號；同時，利用計算機通過集成控制模塊控制多檔電阻切換電路模塊分別選擇合適的電阻檔位以及信號輸出或信號回傳功能：當選擇信號輸出功能時，信號輸出端對應輸出波形電壓激勵信號到被測存儲器件單元；信號輸入接收被測存儲器件單元的響應模擬信號，之后數據采集模塊接收模擬信號并轉化成數字信號；當選擇信號回傳功能時，波形電壓激勵信號直接由數據采集模塊接收模擬信號并轉化成數字信號；然后，計算機通過通訊電纜及集成控制模塊把數據采集模塊的數字信號輸入到控制軟件顯示，并進行運算處理，最后保存原始及處理后數據。

2.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于信號發生模塊的脈沖電壓的脈沖寬度在5ns-1000s范圍間。

3.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于信號發生模塊的脈沖電壓大小在0.01V-100V范圍間。

4.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于信號發生模塊數量為1-10個。

5.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于數據采集模塊數量為1-10個。

6.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于多檔電阻切換電路模塊數量為1-10個。

7.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于多檔電阻切換電路模塊調節整個測試電路系統的總串聯電阻在10Ω－100MΩ范圍間。

8.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于多檔電阻切換電路模塊的選擇信號輸出或信號回傳功能由控制軟件控制。

9.?根據權利要求1所述的半導體存儲器件電學參數測試系統，其特征在于集成控制模塊采用集線器分別與信號發生模塊、數據采集模塊、多檔電阻切換電路模塊連接。