[發(fā)明專(zhuān)利]一種汽車(chē)阻抗匹配系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410826405.0
• 申請(qǐng)日: 2014-12-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105790726A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 穆德霞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 天津銘發(fā)科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H03H11/28
• 分類(lèi)號(hào): H03H11/28
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于匹配電路技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種汽車(chē)阻抗匹配系統(tǒng)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)上，電容耦合等離子體設(shè)備已用于半導(dǎo)體制造工藝或平板顯示器制造工藝。通過(guò)將具有不同頻率的射頻(RF)功率連接到電極可提高等離子體工藝的特性。雙頻阻抗匹配裝置向等離子體負(fù)載提供具有兩個(gè)不同頻率的RF功率，復(fù)雜程度高，成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種汽車(chē)阻抗匹配電路，以解決上述背景技術(shù)中傳統(tǒng)的阻抗匹配電路，復(fù)雜程度高，成本高的問(wèn)題。

本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：本發(fā)明提供一種汽車(chē)阻抗匹配電路，其特征在于：包括輸入端J1、輸出端J2、阻抗電路、放大器電路，所述阻抗電路包括電感L1、電感L2、電阻R1、電阻R2、電容C1、電容C2、電容C4、發(fā)光二極管D1，所述輸入端J1接電阻R2的一端、電容C4的一端、發(fā)光二極管D1的陽(yáng)極，所述電阻R2的另一端接電容C4的另一端、電感L1的一端、電容C1的一端且接電壓+5V，所述三極管Q5的集電極接地，其發(fā)射極接電阻R3的一端、二極管D2的陰極且接電壓+12V，所述發(fā)光二極管D1的陰極接地，所述電感L1的另一端接電感L2的一端、電阻R1的一端、電容C2的一端且接放大器U1的引腳3，所述電感L2的另一端接電容C1的另一端、電阻R1的另一端、電容C2的另一端且接放大器U1的引腳2，所述放大器電路包括放大器U1、電阻R3、電容C3、二極管D2，所述放大器U1的引腳1接電容C3的一端、電阻R3的一端、二極管D2的陽(yáng)極、輸出端J2，所述電容C3的另一端接地。

所述放大器U1選用比較放大器。

所述三極管Q5選用NPN三極管。

本發(fā)明的有益效果為：

1本專(zhuān)利的采用三極管Q5、電阻R2、電容C4并聯(lián)的設(shè)計(jì)，當(dāng)負(fù)載阻抗的實(shí)部為50歐姆或更大時(shí)，都能提供阻抗匹配，其穩(wěn)定性好。

2本專(zhuān)利采用電容C1、電容C2、電感L1、電感L2、電阻R1組成T型匹配電路，可以擴(kuò)展低頻區(qū)域的匹配范圍。

3本專(zhuān)利結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，電路簡(jiǎn)單易實(shí)現(xiàn)，各元器件相對(duì)比較便宜，制造成本低，使用較少的元器件就能實(shí)現(xiàn)阻抗匹配，體積小，大大降低成本，易集成，性?xún)r(jià)比較高，應(yīng)用范圍廣。

4本專(zhuān)利采用放大器電路，以實(shí)現(xiàn)低頻區(qū)域和高頻區(qū)域的最佳雙頻阻抗匹配，提供兩個(gè)不同頻率的RF功率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的電路原理圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步描述：

實(shí)施例：

本實(shí)施例包括：輸入端J1、輸出端J2、阻抗電路、放大器電路，如圖1所示。

阻抗電路包括電感L1、電感L2、電阻R1、電阻R2、電容C1、電容C2、電容C4、發(fā)光二極管D1，輸入端J1接電阻R2的一端、電容C4的一端、發(fā)光二極管D1的陽(yáng)極，電阻R2的另一端接電容C4的另一端、電感L1的一端、電容C1的一端且接電壓+5V，三極管Q5的集電極接地，其發(fā)射極接電阻R3的一端、二極管D2的陰極且接電壓+12V，發(fā)光二極管D1的陰極接地，電感L1的另一端接電感L2的一端、電阻R1的一端、電容C2的一端且接放大器U1的引腳3，電感L2的另一端接電容C1的另一端、電阻R1的另一端、電容C2的另一端且接放大器U1的引腳2。

放大器電路包括放大器U1、電阻R3、電容C3、二極管D2，放大器U1的引腳1接電容C3的一端、電阻R3的一端、二極管D2的陽(yáng)極、輸出端J2，電容C3的另一端接地。

利用本發(fā)明所述的技術(shù)方案，或本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明技術(shù)方案的啟發(fā)下，設(shè)計(jì)出類(lèi)似的技術(shù)方案，而達(dá)到上述技術(shù)效果的，均是落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。