[發明專利]一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法

有效

• 申請號: 201410823681.1
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN104674345A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 熊亮亮;楊建光;王明志
• 申請（專利權）人: 浙江東海藍玉光電科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，所述引晶控制方法包括如下步驟：

a）準備步驟：將氧化鋁料裝入坩堝，安放好籽晶，抽取真空至1×10^-5Pa以下，將籽晶下降到距離坩堝裝料面40-50mm處，開啟加熱系統升溫，使得爐內溫度達到2050-2200℃，原料開始熔化；

b）洗晶步驟：液面對流狀態穩定后，以2-6rpm/min的速度旋轉籽晶桿，增加加熱功率3-5KW，30mim后將籽晶下降到液面以下4-8mm，使籽晶微熔，反復2-3次，使籽晶直徑減少3-5mm；

c）引晶步驟：調節加熱功率，使液面溫度梯度適合引晶，籽晶末端和熔液接觸界面形成浸潤互融的狀態開始長晶，控制長晶速度，每隔20-30min向上手動提拉一次，提拉11-15次形成一次晶結；

d）完成引晶：重復步驟（c)2-4次，完成引晶。

2.根據權利要求1所述的一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，步驟a）每次加熱功率調節后，穩定0.5小時，再執行下一步操作。

3.根據權利要求1所述的一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，步驟b）下籽晶時，每次下5-8mm，停留10-20min分鐘后再下籽晶，直到籽晶與液面接觸。

4.根據權利要求1所述的一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，步驟c）引晶自動提拉速度為0.2-0.4mm/min，關閉籽晶桿旋轉。

5.根據權利要求1或4所述的一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，步驟c）手動提拉時關閉自動提拉，每次提拉高度2-3mm，提拉間隔20-30min。

6.根據權利要求5所述的一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，步驟c）控制總引晶長度在100-150mm左右。

7.根據權利要求1或2或3或4所述的一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的引晶控制方法，其特征在于，高純度氧化鋁為塊狀或餅狀，直徑為2-5cm，純度大于99.996%。