[發(fā)明專利]一種像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410822961.0
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN104483105A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秦琦;吳南健
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

整體暗室(1)；

樣品臺，其設(shè)置在所述整體暗室(1)內(nèi)，用于放置待測圖像傳感器；

微小光斑光學(xué)系統(tǒng)，其包括：

光源模塊(2)，其設(shè)置在所述整體暗室內(nèi)，用于產(chǎn)生不同波長的激光束；

聚焦裝置(5)，其設(shè)置在所述整體暗室內(nèi)，用于將所述激光束會聚后投射至待測圖像傳感器，使得照射在待測圖像傳感器上的光斑尺寸與待測圖像傳感器中的至少一個像素尺寸具有同等規(guī)格。

2.如權(quán)利要求1所述的像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述微小光斑光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步包括調(diào)整模塊(3)，所述調(diào)整模塊(3)設(shè)置在所述整體暗室內(nèi)，且在光路上位于所述光源模塊(2)與聚焦裝置(5)之間，用于對光源模塊(2)產(chǎn)生的激光束進(jìn)行調(diào)整。

3.如權(quán)利要求2所述的像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)整模塊(3)包括：

光闌，用于調(diào)整激光束的光強(qiáng)；

激光譜線濾波片，用于濾除雜散光波；以及

激光擴(kuò)束器(32)，用于將經(jīng)過所述光闌與激光譜線濾波片后的激光束源進(jìn)行擴(kuò)束。

4.如權(quán)利要求3所述的像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述微小光斑光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步包括：半透半反鏡和CCD圖像傳感器及鏡頭組件；所述半透半反鏡在光路上設(shè)置在激光擴(kuò)束器(32)與聚焦裝置(5)之間，使得來自激光擴(kuò)束器(32)的激光束透過后經(jīng)所述聚焦裝置(5)投射至待測圖像傳感器，而到達(dá)圖像傳感器界面上的激光光束則經(jīng)過待測圖像傳感器反射后，再經(jīng)所述半透半反鏡反射，并進(jìn)入CCD圖像傳感器及鏡頭組件組成的監(jiān)控單元。

5.如權(quán)利要求1所述的像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述微小光斑光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步包括光強(qiáng)檢測模塊(8)，所述光強(qiáng)檢測模塊(8)檢測進(jìn)入所述聚焦裝置(5)的激光光束的光強(qiáng)。

6.如權(quán)利要求1所述的像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述聚焦裝置(5)包括顯微物鏡，其倍率根據(jù)所需光斑大小來選擇。

7.如權(quán)利要求1所述的像素間串?dāng)_檢測系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括阻尼隔振光學(xué)平臺，所述整體暗室置于所述阻尼隔振光學(xué)平臺上。

8.一種像素間串?dāng)_檢測方法，其特征在于，所述方法在整體暗室內(nèi)進(jìn)行，且包括：

光源模塊(2)用于產(chǎn)生激光束；以及

聚焦裝置(5)將所述激光束會聚后投射至置于樣品臺的待測圖像傳感器，使得照射在待測圖像傳感器上的光斑尺寸與待測圖像傳感器至少一個像素尺寸具有同等規(guī)格。

9.如權(quán)利要求8所述的像素間串?dāng)_檢測方法，其特征在于，進(jìn)一步包括樣品臺調(diào)整步驟：電控調(diào)整樣品臺的位置，使得被照射的單個像素的電信號輸出處于最大值。

10.如權(quán)利要求9所述的像素間串?dāng)_檢測方法，其特征在于，所述樣品臺調(diào)整步驟包括：電控調(diào)整樣品臺的x坐標(biāo)位置，使得被照射的單個像素的電信號輸出處于最大值；然后，電控調(diào)整樣品臺的y坐標(biāo)位置，使得被照射的單個像素的電信號輸出處于最大值，所述樣品臺為電控三維樣品臺。