[發(fā)明專利]一種用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410816245.1
• 申請日: 2014-12-23
• 公開（公告）號: CN105779944A
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙岳;申緒男;喬在祥;趙彥民
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第十八研究所
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 李鳳

1.一種用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：用于制備CIGS太陽電池的 線性蒸發(fā)源的爐體電阻絲采用分區(qū)加熱方式，分為底部加熱器、側(cè)邊加熱絲和頂部 加熱單元；底部加熱器的加熱絲盤繞于底部均勻的線槽內(nèi)，側(cè)邊加熱絲均布在爐體 外側(cè)的走線槽內(nèi)，側(cè)邊加熱絲外包覆保溫層，頂部加熱器單元置入下絕緣蓋板上方， 頂部加熱器單元上放置上絕緣蓋板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：側(cè)邊加熱 絲外包覆的保溫層外部采用水冷的方式降低高溫源與低溫源之間的影響。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：水冷的方 式為水冷隔板，水冷隔板內(nèi)通有冷卻水。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：爐體的物 料蒸發(fā)口的開放形式為頂部外加噴嘴形狀，實現(xiàn)蒸發(fā)源對各種蒸發(fā)條件的適應(yīng)性。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：爐體采用 石墨或不銹鋼材質(zhì)，側(cè)邊加熱絲采用鎧裝鎳鉻加熱絲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：下絕緣蓋 板選用陶瓷材料，與爐體之間采用機械密封的形式連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于制備CIGS太陽電池的線性蒸發(fā)源，其特征是：下絕緣蓋 板下部突起與爐體上沿的凹槽構(gòu)成機械密封。