[發明專利]一種用于制備單光子探測器的自動切片機

有效

• 申請號: 201410815160.1
• 申請日: 2015-01-04
• 公開（公告）號: CN104539188A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 李云;付韜韜;王安定;謝偉民;邢廷文
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02;H02N2/04
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種高精度壓力驅動裝置，其特征在于包括：壓電陶瓷(1)、方向導槽(2)、彈性簧片(3)、微位移探測感器(4)和安裝底座(5)；其中壓電陶瓷(1)放置于方向導槽(2)中，方向導槽(2)上端存在一個開孔(201)，壓電陶瓷(1)的上端(101)可從該開孔(201)中部分伸出，方向導槽(2)下端也存在一個開孔，用于與安裝底座(5)連接，壓電陶瓷(1)的下接觸點(102)與彈性簧片(3)的中間剛性連接，使得彈性簧片(3)接觸點能隨著壓電陶瓷(1)的下觸點(102)一起運動，彈性簧片(3)兩端可用固定螺絲(301)固定于安裝底座(5)上，安裝底座(5)上存在一個用于安裝微位移探測器(4)的安裝孔(504)。

2.根據權利要求1所述的一種高精度壓力驅動裝置，其特征在于：存在一個彈性簧片(3)，其采用彈性好、記憶性強的材料制作，并用彈性形變的大小來測算壓力驅動裝置的輸出力大小。

3.根據權利要求1所述的一種高精度壓力驅動裝置，其特征在于：存在一個方向導槽(2)，方向導槽(2)上通過緊定螺絲(206)使得壓電陶瓷(1)與方向導槽(2)形成點接觸，以減小摩擦力。

4.根據權利要求1所述的一種高精度壓力驅動裝置，其特征在于：存在一個安裝底座(5)，該安裝底座(5)采用地膨脹系數材料制作，以減少溫度變化對輸出作用力精度的影響。

5.根據權利要求1所述的一種高精度壓力驅動裝置，其特征在于：存在一個閉環控制回路，使得作用力輸出端位置不斷變化時，也可以獲得穩定的作用力輸出。

6.根據權利要求1所述的一種高精度壓力驅動裝置，其特征在于：輸出作用力的精度通過理論計算和事先標定的“壓力—微位移量”關系曲線來控制。