[發(fā)明專利]成像橢偏儀的系統(tǒng)參數(shù)校準(zhǔn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410810540.6
• 申請日: 2014-12-19
• 公開（公告）號: CN104535500A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾愛軍;胡仕玉;袁喬;顧帥妍;谷利元;黃惠杰;賀洪波
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純;張寧展

1.一種成像橢偏儀系統(tǒng)參數(shù)的校準(zhǔn)方法，其特征在于該校準(zhǔn)方法包括以下步驟：

①調(diào)整自準(zhǔn)直儀14，使自準(zhǔn)直儀14的出射光方向通過成像橢偏儀旋轉(zhuǎn)臺6的圓心，在成像橢偏儀旋轉(zhuǎn)臺6上沿自準(zhǔn)直儀14依次設(shè)置偏振分束器15和直角棱鏡16，所述的直角棱鏡16的斜面向右直角邊置于樣品臺上，調(diào)整所述的偏振分束器15使所述的自準(zhǔn)直儀14出射的光正入射并經(jīng)偏振分束器15分為互相垂直的o光和e光，o光的偏振方向平行于入射面，e光的偏振方向垂直于入射面，o光經(jīng)所述的直角棱鏡16的斜面反射，所述的直角棱鏡16的一個(gè)小于45°的銳角α擺在右邊，打開激光器1，調(diào)整所述的直角棱鏡16，使自準(zhǔn)直儀14出射光與激光器1發(fā)射的光交于直角棱鏡16斜邊上同一點(diǎn)，自準(zhǔn)直儀14出射的o光垂直于直角棱鏡16的直角邊；

②轉(zhuǎn)動(dòng)反射臂002，使反射臂002的光柵尺傳感器停在右光柵尺17的原點(diǎn)，此時(shí)反射臂002上的右光柵尺17的讀數(shù)為0，再緩慢旋轉(zhuǎn)所述的反射臂002，所述的CCD相機(jī)9實(shí)時(shí)記錄光強(qiáng)，當(dāng)光強(qiáng)最小時(shí)，右光柵尺17的讀數(shù)為l₁，得到反射臂002和右光柵尺17原點(diǎn)的夾角為θ₁，根據(jù)光路的幾何關(guān)系可推出右光柵尺17原點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)臺圓心連線和法線的夾角為2α-θ₁，即右光柵尺17原點(diǎn)位置與法線的夾角；

③此時(shí)固定反射臂002，將控制檢偏器7的伺服電機(jī)復(fù)歸機(jī)械原點(diǎn)，即伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述的檢偏器7緩慢旋轉(zhuǎn)，所述的CCD相機(jī)9實(shí)時(shí)記錄光強(qiáng)，當(dāng)光強(qiáng)最小或者完全消光時(shí)，此時(shí)檢偏器7的通光方向?yàn)閟方向，此時(shí)在控制器11調(diào)整控制檢偏器7的伺服電機(jī)的原點(diǎn)位置，使得伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0時(shí)，檢偏器7的通光方向?yàn)閟方向；

④將入射臂001的1/4波片2、準(zhǔn)直器3、補(bǔ)償器5卸下，將所述的直角棱鏡16的斜邊向左擺放，直角棱鏡16的一個(gè)小于45°的銳角α擺在左邊，再按上述步驟①調(diào)整所述的直角棱鏡16，關(guān)閉激光器1，將所述的CCD相機(jī)9安裝在入射臂的激光器1和起偏器4之間的光路上；

⑤轉(zhuǎn)動(dòng)入射臂001，使入射臂001的光柵尺傳感器停在左光柵尺13的原點(diǎn)，此時(shí)入射臂001上的左光柵尺13的讀數(shù)為0，再緩慢旋轉(zhuǎn)所述的入射臂001，所述的CCD相機(jī)實(shí)時(shí)記錄光強(qiáng)，當(dāng)光強(qiáng)最小時(shí)，左光柵尺13的讀數(shù)為l₂，得到入射臂001和左光柵尺13原點(diǎn)的夾角為θ₂，根據(jù)光路的幾何關(guān)系可推出左光柵尺13原點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)臺圓心連線和法線的夾角為2α-θ₂，即左光柵尺13原點(diǎn)位置與法線的夾角；

⑥此時(shí)固定入射臂001，將控制起偏器4的伺服電機(jī)復(fù)歸機(jī)械原點(diǎn)，即伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述的起偏器4緩慢旋轉(zhuǎn)，所述的CCD相機(jī)9實(shí)時(shí)記錄光強(qiáng)，當(dāng)光強(qiáng)最小或者完全消光時(shí)，此時(shí)起偏器4的通光方向?yàn)閟方向，此時(shí)在控制器11調(diào)整控制起偏器4的伺服電機(jī)的原點(diǎn)位置，使得伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0時(shí)，檢偏器4的通光方向?yàn)閟方向；

⑦將入射臂001上的CCD相機(jī)9卸下并裝回所述的反射臂002上，將所述的1/4波片2、準(zhǔn)直器3、補(bǔ)償器5裝回所述的入射臂001，校準(zhǔn)結(jié)束。