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[發(fā)明專利]成像橢偏儀的系統(tǒng)參數(shù)校準(zhǔn)方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410810540.6 申請日: 2014-12-19
公開(公告)號: CN104535500A 公開(公告)日: 2015-04-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 曾愛軍;胡仕玉;袁喬;顧帥妍;谷利元;黃惠杰;賀洪波 申請(專利權(quán))人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
主分類號: G01N21/21 分類號: G01N21/21
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 張澤純;張寧展
地址: 201800 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 成像 橢偏儀 系統(tǒng) 參數(shù) 校準(zhǔn) 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種成像橢偏儀系統(tǒng)參數(shù)的校準(zhǔn)方法,其特征在于該校準(zhǔn)方法包括以下步驟:

①調(diào)整自準(zhǔn)直儀14,使自準(zhǔn)直儀14的出射光方向通過成像橢偏儀旋轉(zhuǎn)臺6的圓心,在成像橢偏儀旋轉(zhuǎn)臺6上沿自準(zhǔn)直儀14依次設(shè)置偏振分束器15和直角棱鏡16,所述的直角棱鏡16的斜面向右直角邊置于樣品臺上,調(diào)整所述的偏振分束器15使所述的自準(zhǔn)直儀14出射的光正入射并經(jīng)偏振分束器15分為互相垂直的o光和e光,o光的偏振方向平行于入射面,e光的偏振方向垂直于入射面,o光經(jīng)所述的直角棱鏡16的斜面反射,所述的直角棱鏡16的一個小于45°的銳角α擺在右邊,打開激光器1,調(diào)整所述的直角棱鏡16,使自準(zhǔn)直儀14出射光與激光器1發(fā)射的光交于直角棱鏡16斜邊上同一點(diǎn),自準(zhǔn)直儀14出射的o光垂直于直角棱鏡16的直角邊;

②轉(zhuǎn)動反射臂002,使反射臂002的光柵尺傳感器停在右光柵尺17的原點(diǎn),此時反射臂002上的右光柵尺17的讀數(shù)為0,再緩慢旋轉(zhuǎn)所述的反射臂002,所述的CCD相機(jī)9實(shí)時記錄光強(qiáng),當(dāng)光強(qiáng)最小時,右光柵尺17的讀數(shù)為l1,得到反射臂002和右光柵尺17原點(diǎn)的夾角為θ1,根據(jù)光路的幾何關(guān)系可推出右光柵尺17原點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)臺圓心連線和法線的夾角為2α-θ1,即右光柵尺17原點(diǎn)位置與法線的夾角;

③此時固定反射臂002,將控制檢偏器7的伺服電機(jī)復(fù)歸機(jī)械原點(diǎn),即伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0,伺服電機(jī)驅(qū)動所述的檢偏器7緩慢旋轉(zhuǎn),所述的CCD相機(jī)9實(shí)時記錄光強(qiáng),當(dāng)光強(qiáng)最小或者完全消光時,此時檢偏器7的通光方向?yàn)閟方向,此時在控制器11調(diào)整控制檢偏器7的伺服電機(jī)的原點(diǎn)位置,使得伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0時,檢偏器7的通光方向?yàn)閟方向;

④將入射臂001的1/4波片2、準(zhǔn)直器3、補(bǔ)償器5卸下,將所述的直角棱鏡16的斜邊向左擺放,直角棱鏡16的一個小于45°的銳角α擺在左邊,再按上述步驟①調(diào)整所述的直角棱鏡16,關(guān)閉激光器1,將所述的CCD相機(jī)9安裝在入射臂的激光器1和起偏器4之間的光路上;

⑤轉(zhuǎn)動入射臂001,使入射臂001的光柵尺傳感器停在左光柵尺13的原點(diǎn),此時入射臂001上的左光柵尺13的讀數(shù)為0,再緩慢旋轉(zhuǎn)所述的入射臂001,所述的CCD相機(jī)實(shí)時記錄光強(qiáng),當(dāng)光強(qiáng)最小時,左光柵尺13的讀數(shù)為l2,得到入射臂001和左光柵尺13原點(diǎn)的夾角為θ2,根據(jù)光路的幾何關(guān)系可推出左光柵尺13原點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)臺圓心連線和法線的夾角為2α-θ2,即左光柵尺13原點(diǎn)位置與法線的夾角;

⑥此時固定入射臂001,將控制起偏器4的伺服電機(jī)復(fù)歸機(jī)械原點(diǎn),即伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0,伺服電機(jī)驅(qū)動所述的起偏器4緩慢旋轉(zhuǎn),所述的CCD相機(jī)9實(shí)時記錄光強(qiáng),當(dāng)光強(qiáng)最小或者完全消光時,此時起偏器4的通光方向?yàn)閟方向,此時在控制器11調(diào)整控制起偏器4的伺服電機(jī)的原點(diǎn)位置,使得伺服電機(jī)編碼器讀數(shù)為0時,檢偏器4的通光方向?yàn)閟方向;

⑦將入射臂001上的CCD相機(jī)9卸下并裝回所述的反射臂002上,將所述的1/4波片2、準(zhǔn)直器3、補(bǔ)償器5裝回所述的入射臂001,校準(zhǔn)結(jié)束。

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