日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]存儲(chǔ)元件及其制造方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201410808658.5 申請(qǐng)日: 2014-12-23
公開(公告)號(hào): CN105789208B 公開(公告)日: 2019-01-25
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李鴻志;許漢輝 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 旺宏電子股份有限公司
主分類號(hào): H01L27/115 分類號(hào): H01L27/115;H01L27/11521
代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 代理人: 任巖
地址: 中國臺(tái)灣新竹*** 國省代碼: 中國臺(tái)灣;71
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 存儲(chǔ) 元件 及其 制造 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種存儲(chǔ)元件,包括:

一基底,具有多個(gè)第一區(qū)與多個(gè)第二區(qū),其中這些第一區(qū)與這些第二區(qū)沿著一第一方向延伸,且沿著一第二方向相互交替;

多個(gè)隧穿介電層,位于該基底上,這些隧穿介電層沿著該第二方向延伸,且橫越這些第一區(qū)與這些第二區(qū);

多個(gè)隔離結(jié)構(gòu),每一隔離結(jié)構(gòu)具有一上部與一下部,其中這些隔離結(jié)構(gòu)的這些下部位于該基底中,與這些隧穿介電層沿著該第一方向相互交替,這些隔離結(jié)構(gòu)的這些上部位于這些下部上;

多個(gè)頂蓋層,位于這些隔離結(jié)構(gòu)的這些上部上,其中這些頂蓋層的頂面為一平面;

多個(gè)第一導(dǎo)體層,位于這些第二區(qū)的這些隧穿介電層上;

一介電層,覆蓋在這些第一導(dǎo)體層上;以及

一第二導(dǎo)體層,位于該介電層上,該第二導(dǎo)體層具有一主體部與多個(gè)延伸部,這些延伸部與這些第一導(dǎo)體層沿著該第一方向相互交替;

其中每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部以及位于該上部上的該頂蓋層的結(jié)構(gòu)滿足下列式(1)至式(2):

式(1):b≤a<c,

式(2):b≥1/3a,

其中a為該第二導(dǎo)體層的每一延伸部的底部寬度,b為每一頂蓋層的頂面寬度,c為每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部的底面寬度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)元件,其中每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部的頂面高于每一隧穿介電層的頂面,每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部的底面與每一隧穿介電層的頂面等高。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)元件,其中該頂蓋層的材料包括高介電常數(shù)材料或高介電常數(shù)材料與低介電常數(shù)材料的組合。

4.一種存儲(chǔ)元件,包括:

一基底;

多個(gè)隧穿介電層,位于該基底上;

多個(gè)隔離結(jié)構(gòu),每一隔離結(jié)構(gòu)具有一上部與一下部,其中這些隔離結(jié)構(gòu)的這些下部位于該基底中,與這些隧穿介電層沿著一第一方向相互交替,這些隔離結(jié)構(gòu)的這些上部位于這些下部上;以及

多個(gè)頂蓋層,位于這些隔離結(jié)構(gòu)的這些上部上,其中這些頂蓋層的頂面為一平面;

其中每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部以及位于該上部上的該頂蓋層的結(jié)構(gòu)滿足下列式(1)至式(2):

式(1):b≤c-2×T2<c,

式(2):

其中,T1為該上部的厚度,T2為該頂蓋層的厚度,b為每一頂蓋層的頂面寬度,c為每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部的底面寬度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)元件,其中每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部的頂面高于每一隧穿介電層的頂面,每一隔離結(jié)構(gòu)的該上部的底面與每一隧穿介電層的頂面等高。

6.一種存儲(chǔ)元件的制造方法,包括:

于一基底上形成多個(gè)疊層,每一疊層包括一隧穿介電層與一第一導(dǎo)體層,其中該第一導(dǎo)體層位于該隧穿介電層上;

于這些疊層與該基底中形成多個(gè)隔離結(jié)構(gòu);

以這些疊層為掩模,移除部分這些隔離結(jié)構(gòu),以于這些疊層中形成多個(gè)開口,這些開口的底面高于該隧穿介電層的頂面;

于這些隔離結(jié)構(gòu)與這些疊層上共形形成一介電層;

于這些隔離結(jié)構(gòu)上形成一第二導(dǎo)體層;

以該第二導(dǎo)體層為掩模,移除部分該介電層,以形成一頂蓋層,暴露該第一導(dǎo)體層的表面;以及

移除該第一導(dǎo)體層與該第二導(dǎo)體層,以暴露該隧穿介電層的頂面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的存儲(chǔ)元件的制造方法,在移除部分該介電層的步驟中,該介電層與該第一導(dǎo)體層的刻蝕選擇比以及該介電層與該第二導(dǎo)體層的刻蝕選擇比為1至15。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的存儲(chǔ)元件的制造方法,其中該介電層的材料包括高介電常數(shù)材料或高介電常數(shù)材料與低介電常數(shù)材料的組合。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于旺宏電子股份有限公司,未經(jīng)旺宏電子股份有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410808658.5/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級(jí)為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請(qǐng)您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊(cè)】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識(shí) 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢?cè)诰€客服咨詢?cè)诰€客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 二区三区视频| 一区二区精品久久| 欧美日韩精品中文字幕| 亚洲欧美一区二区精品久久久| 国产日韩欧美中文字幕| 日韩国产精品一区二区| 日韩精品一区在线视频| 国产亚洲精品久久午夜玫瑰园| 欧美日韩国产一二| 亚洲精品中文字幕乱码三区91| 中文无码热在线视频| 欧美一区二区三区在线视频播放| 国产午夜精品理论片| 狠狠色很很在鲁视频| 伊人av综合网| 日韩av片无码一区二区不卡电影| 男女午夜爽爽| 亚洲精品国产精品国自产网站按摩| 欧美极品少妇xx高潮| 亚洲欧美一区二| 91免费国产| 国产无套精品久久久久久| 精品在线观看一区二区| 日韩一区二区中文字幕| 日本边做饭边被躁bd在线看| 性色av香蕉一区二区| 国产一级一区二区| 国产影院一区二区| 久久精品国产99| 91久久一区二区| 亚洲欧美一区二区三区1000 | 国产一区二区伦理| 免费看欧美中韩毛片影院| 国产视频二区| 精品videossexfreeohdbbw| 一区二区久久久久| 中文字幕在线播放一区| 蜜臀久久精品久久久用户群体| 色吊丝av中文字幕| 国产精品96久久久| 国产精品人人爽人人做av片| 国产欧美视频一区二区三区| 亚洲欧洲日韩在线| 亚洲国产精品女主播| 日韩精品中文字幕久久臀| 亚洲一区二区福利视频| 日韩精品一区在线观看| 国产一区二区高清视频| 日韩一区二区精品| 视频一区二区国产| 亚洲va久久久噜噜噜久久0| 午夜国产一区| 国产白嫩美女在线观看| 日韩av一区不卡| 国产综合久久精品| 日韩欧美中文字幕精品| 欧美精品五区| 国产呻吟久久久久久久92 | 国产伦精品一区二区三| 国产日韩欧美精品一区| 一区二区三区四区视频在线| 国产精品剧情一区二区三区| 国产精品免费观看国产网曝瓜| 一区二区欧美精品| 91香蕉一区二区三区在线观看| **毛片在线| 久久99精| 久久久精品免费看| 亚洲va欧美va国产综合先锋| 久久99精品国产麻豆婷婷洗澡| 欧美一区二区三区激情视频| 91精品国产91久久久| 色妞www精品视频| 97香蕉久久国产超碰青草软件 | 国产一区二区三区大片| 91avpro| 欧美日韩国产精品综合| 岛国精品一区二区| 农村妇女毛片精品久久| 色婷婷综合久久久久中文| 午夜av片| 亚洲精品卡一卡二| 国产黄色一区二区三区| 欧美日韩国产一区在线| 国产欧美日韩在线观看| 亚洲精品国产久| 日韩av在线电影网| 欧美激情在线免费| 亚洲欧美国产日韩综合| 日本一二三区电影| 欧美在线播放一区| 国产91高清| 精品一区二区三区视频?| 6080日韩午夜伦伦午夜伦| 欧美乱妇高清无乱码免费| 国产69久久久欧美一级| 国产婷婷色一区二区三区在线| 国产精品你懂的在线| 日韩精品中文字幕一区二区| 91精品资源| 三级视频一区| 一区二区国产精品| 亚洲欧美日韩综合在线| 性色av色香蕉一区二区| 国产日韩欧美另类| 日韩亚洲国产精品| 亚洲国产一区二区久久久777| 国产精品黑色丝袜的老师| 99久久国产综合| 午夜影院伦理片| 久久精品国产久精国产| 99国产精品| 日韩在线一区视频| 国产足控福利视频一区| 亚洲精品日韩色噜噜久久五月| 国产麻豆一区二区三区在线观看| 亚洲欧美色图在线| 国产精品1234区| 亚洲精品日本无v一区| 玖玖国产精品视频| 国产伦精品一区二区三区照片91 | 88888888国产一区二区| 欧美日韩精品在线播放| 国产日韩欧美在线影视| 在线观看v国产乱人精品一区二区| 日本一区二区三区在线视频| 亚洲四区在线观看| 国产大学生呻吟对白精彩在线| 国产日韩欧美另类| 日韩毛片一区| 国产精品三级久久久久久电影| 欧美激情午夜| 国产69精品久久久久久| 日本高清一二区| 国产欧美日韩精品一区二区图片| 欧美日韩一区电影| 欧美精品一区免费| 国产男女乱淫真高清视频免费| 国产日本一区二区三区| 午夜av影视| 秋霞三级伦理| 国产精品亚洲精品一区二区三区| 国产三级在线视频一区二区三区| 99国产精品99久久久久久粉嫩| 日韩在线一区视频| 欧美日韩亚洲另类| 香港三日三级少妇三级99| 国产亚洲精品久久777777| 国产精品久久久久久久久久久新郎 | 国产精品9区| 国产www亚洲а∨天堂| 免费久久一级欧美特大黄| 亚洲欧美自拍一区| 躁躁躁日日躁网站| 亚洲精品国产suv| 午夜欧美影院| 久久中文一区二区| 国产日韩欧美精品| 亚洲精品久久久久www| 99视频国产精品| 午夜一区二区视频| 国产精品18久久久久白浆| 精品videossexfreeohdbbw| 一区二区中文字幕在线观看| 国产欧美日韩中文字幕| 国产精品自产拍在线观看桃花| 国产精品一区二区免费| 国产日韩欧美一区二区在线观看| 国产精品自拍不卡| 中文字幕制服狠久久日韩二区| 国产大片一区二区三区| 亚洲精品国产精品国产| 亚洲国产精品97久久无色| 久久国产欧美视频| 亚洲精品丝袜| 国产69精品久久777的优势| 精品国产一区二| 国产淫片免费看| 一区二区三区免费高清视频| 日韩久久精品一区二区| 欧美一区二区三区久久| 亚洲一级中文字幕| 精品久久久久久中文字幕| 91高跟紫色丝袜呻吟在线观看| 亚州精品中文| 久久国产精品久久| 国产在线播放一区二区| 小萝莉av| 国产一区二区三区小说| 91精品国产高清一二三四区| 精品国产乱码一区二区三区在线| 亚洲欧美国产日韩色伦| 一区二区三区四区视频在线| 午夜一级电影| 欧洲在线一区| 国产三级欧美三级日产三级99| 欧美精品一区二区三区久久久竹菊| 一区二区在线视频免费观看 | 日本看片一区二区三区高清| 国产区91| 精品国产鲁一鲁一区二区三区| 午夜影院啪啪| 免费看大黄毛片全集免费| 欧洲在线一区| 亚洲精品日韩在线| 国产精品二区一区二区aⅴ| 欧美一区二区三区在线视频观看| 午夜精品影视| 国产一二区在线| 国产伦精品一区二区三区免费迷| 国产网站一区二区| 亚洲欧美日韩另类精品一区二区三区| 天堂av一区二区| 日韩精品少妇一区二区在线看| 一区二区三区欧美视频| 国产麻豆精品久久| 欧美精品八区| 欧美三级午夜理伦三级老人| 一区二区欧美精品| 91精品视频一区二区| 一区二区三区中文字幕| 亚洲乱子伦| 日韩精品一区二区三区四区在线观看| 久久国产精品视频一区| 欧美日韩一级二级三级| 国产区91| 国产一区二区精品在线| 天堂av色婷婷一区二区三区| 国产日韩区| 国产精品96久久久| 午夜av片| 福利片一区二区三区| 精品少妇一区二区三区免费观看焕 | 日本一二三四区视频| 欧美一区二区三区久久| 免费超级乱淫视频播放| 日韩av中文字幕在线免费观看| 午夜私人影院在线观看| 色一情一乱一乱一区免费网站| 国产极品一区二区三区| 欧美二区在线视频| 99久精品视频| 亚洲国产精品日本| 999偷拍精品视频| 91久久久久久亚洲精品禁果| 国产馆一区二区|