[發明專利]一種作為濺射靶材的鋁靶材與鋁合金背板的連接方法

在審

• 申請號: 201410808342.6
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN104646817A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發明（設計）人: 萬小勇;羅俊鋒;董亭義;高巖;王越;孫秀霖;劉書芹;曾浩;徐學禮;劉曉
• 申請（專利權）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: B23K15/00
• 分類號: B23K15/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 劉茵

1.一種作為濺射靶材的鋁靶材與鋁合金背板的連接方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

I.在鋁靶材連接面上加工出圓形凸臺，在鋁合金背板連接面上加工出形狀、位置與該凸臺相對應的圓形嵌槽；

II.將鋁靶材的凸臺嵌合在鋁合金背板的嵌槽中；

III.采用真空電子束焊接將靶材與背板邊緣進行封焊形成靶材組件；IV.將靶材組件進行熱處理，加熱溫度為150-450℃，保溫時間0.5-2h；

V.將熱處理后的靶材組件熱壓，壓強為80～350MPa，保壓時間0.2-2h。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鋁靶材材料為純鋁、鋁硅合金、鋁銅合金或鋁硅銅合金；所述鋁合金背板材料為普通硬鋁、5系鋁合金、6系鋁合金或7系鋁合金。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述凸臺上加工出多個凸緣，每個凸緣為環型，凸緣呈同心環形排布；所述嵌槽上加工出多個凹槽，每個凹槽為環型，多個凹槽呈同心環形排布，且其尺寸和位置分別與該多個凸緣相對應。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述每個凸緣寬為0.3-4mm，高度為0.2-4mm，排列間距為0.5-8mm。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述凸緣的軸向橫截面為矩形，所述凹槽的軸向橫截面為梯形，凸緣的截面面積不大于凹槽的截面面積。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鋁合金背板相鄰兩凹槽間的突起齒形部軸向橫截面為三角形、M形或其它復合形狀。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的方法，其特征在于，所述凸臺的直徑為200～450mm，凸臺與嵌槽的尺寸配合公差為0-0.5mm。

8.根據權利要求3-6中任一項所述的方法，其特征在于，所述凸臺、嵌槽、凸緣和凹槽采用車床加工形成。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括步驟VI：將熱壓后組件放入熱處理爐中進行擴散處理，擴散處理溫度150～450℃，保溫時間為1～4h。