[發明專利]一種離子質量分析裝置

有效

• 申請號: 201410806707.1
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN104409313A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發明（設計）人: 李晨冉
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J49/42
• 分類號: H01J49/42;H01L49/02
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種離子質量分析裝置，包括分析磁鐵模塊（1）和束線真空模塊（3），所述分析磁鐵模塊（1）包括上磁極板（11）和下磁極板（12）；上磁極板（11）和下磁極板（12）之間固定有中空磁軛（15）；所述中空磁軛（15）內部的上磁極板（11）下表面和下磁極板（12）上表面分別固定有上磁極（13）和下磁極（14）；所述中空磁軛（15）上開設有安裝孔（16）；所述束線真空模塊（3）包括一兩端開口的真空腔體（31）；所述真空腔體（31）內壁上開設有水冷槽，所述水冷槽內安裝有水冷管（32）；所述真空腔體的一個開口端外固定有分析光欄（33），所述真空腔體另一個開口端通過所述安裝孔（16）與所述磁軛（15）連接；其特征在于，還包括兩個通電線圈模塊（2）；所述通電線圈模塊（2）包括三個中部開設有通孔（22）的水冷組件（21），所述三個水冷組件（21）依次疊加，且相鄰的兩個水冷組件（21）之間設置有通電線圈（24）；所述兩個通電線圈模塊（2）通過所述通孔（22）分別套在所述上磁極（13）和下磁極（14）上。

2.?根據權利要求1所述的離子質量分析裝置，其特征在于，所述水冷組件（21）包括水冷板，所述水冷板內開設有水冷槽（23），所述水冷槽內安裝有水冷管。

3.根據權利要求1或2所述的離子質量分析裝置，其特征在于，所述真空腔體（31）內固定有與所述真空腔體（31）形狀匹配的石墨板（34）。

4.根據權利要求3所述的離子質量分析裝置，其特征在于，所述真空腔體（31）通過安裝法蘭（36）安裝在所述安裝孔（16）內。

5.根據權利要求4所述的離子質量分析裝置，其特征在于，所述上磁極（13）和下磁極（14）均為C形結構。

6.根據權利要求5所述的離子質量分析裝置，其特征在于，所述真空腔體（31）外套有蓋板（35）。