[發明專利]多傳感檢測器

有效

• 申請號: 201410806546.6
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN104729580B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 紀堯姆·喬丹;伯納德·蒂姆;帕特里斯·雷伊;菲利普·羅伯特
• 申請（專利權）人: 法國原子能源和替代能源委員會
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 方挺;葛強

1.一種用于多傳感檢測器的測量電路，其特征在于，包括：

并聯安裝的多個檢測支路(200)，每個檢測支路包括串聯安裝的至少兩個偶極子(25)和位于所述至少兩個偶極子之間的第一連接焊盤(50)；和

至少一個參照支路(100)，所述參照支路包括極化源(10)和串聯安裝的至少兩個偶極子(25)，所述至少一個參照支路(100)通過第二連接焊盤(55)與所述多個檢測支路中的至少兩個檢測支路(200)并聯電連接，其中所述第二連接焊盤(55)連接至所述極化源，以與所述多個檢測支路(200)中的所述至少兩個檢測支路(200)中的每個檢測支路形成惠斯通電橋，其中，所述第一連接焊盤(50)和所述第二連接焊盤(55)的總數等于n+2，其中n為被測量對象數目，所述被測量對象與所述檢測支路關聯；

并聯安裝的兩個附加測量焊盤(56)，所述兩個附加測量焊盤被配置成控制所述至少兩個檢測支路(200)的極化電壓。

2.根據權利要求1所述的測量電路，所述測量電路在至少一個檢測支路(200)中包括至少一個具有可變阻抗的偶極子(25)，所述至少一個具有可變阻抗的偶極子(25)根據被測量對象演變而阻抗變化。

3.根據權利要求1所述的測量電路，其中，所述至少一個參照支路(100)通過第一極化焊盤和第二極化焊盤(55)連接至所述至少兩個檢測支路(200)。

4.根據權利要求1所述的測量電路，其中，所述至少兩個檢測支路(200)中的每個檢測支路在所述至少兩個檢測支路(200)的中點處連接至至少一個中央測量焊盤(50)，所述至少一個中央測量焊盤(50)位于所述至少兩個檢測支路的所述至少兩個偶極子(25)之間。

5.一種多傳感檢測器，包括至少一個根據權利要求1所述的測量電路。

6.根據權利要求5所述的檢測器，其中，所述測量電路至少部分形成在第一基板(300)和第二基板(350)上，所述第一基板(300)和所述第二基板(350)被組裝以形成腔體。

7.根據權利要求6所述的檢測器，其中，所述至少一個參照支路通過第一極化焊盤和第二極化焊盤連接至所述至少兩個檢測支路，所述至少兩個檢測支路中的每個檢測支路在所述至少兩個檢測支路的中點處連接至至少一個中央測量焊盤，所述至少一個中央測量焊盤位于所述至少兩個檢測支路的所述至少兩個偶極子之間，兩個附加測量焊盤并聯安裝并且被配置成控制所述至少兩個檢測支路的極化電壓，所述至少一個參照支路(100)通過所述第一極化焊盤和所述第二極化焊盤(55)并聯連接至所述至少兩個檢測支路(200)，所述至少一個中央測量焊盤(50)和所述兩個附加測量焊盤(56)以及所述第一極化焊盤和所述第二極化焊盤(55)位于所述第一基板(300)和/或所述第二基板(350)上。

8.根據權利要求6所述的檢測器，其中，所述至少一個參照支路(100)至少部分位于所述第一基板(300)上。

9.根據權利要求6所述的檢測器，其中，所述至少一個參照支路(100)至少部分位于所述第二基板(350)上。

10.根據權利要求6所述的檢測器，其中，所述至少兩個檢測支路(200)中的每個檢測支路至少部分位于所述第一基板(300)上。

11.根據權利要求6所述的檢測器，其中，所述兩個檢測支路(200)中的每個檢測支路連接至至少一個中央測量焊盤(50)，所述至少一個中央測量焊盤(50)位于所述第二基板(350)上或者所述第一基板(300)上。

12.根據權利要求6所述的檢測器，包括微機電系統和/或納機電系統。