[發明專利]一種石英振蕩器真空濺射鍍膜裝置在審
| 申請號： | 201410804202.1 | 申請日： | 2014-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN105763165A | 公開（公告）日： | 2016-07-13 |
| 發明（設計）人： | 王棟;李新生;張浩 | 申請（專利權）人： | 西安鴻騰信息科技有限公司 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710077 陜西省西安市高新區*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石英 振蕩器 真空 濺射 鍍膜 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種石英振蕩器真空濺射鍍膜裝置，包括底板、濺射夾具和多塊掩膜板，所述濺射夾具安裝在所述底板上，其特征在于：所述濺射夾具包括單邊卡槽和雙邊卡槽，所述雙邊卡槽設置在兩個所述單邊卡槽之間，兩個所述掩膜板分別嵌入所述雙邊卡槽與兩個所述單邊卡槽之間。
2.根據權利要求1所述的石英振蕩器真空濺射鍍膜裝置，其特征在于：所述掩膜板包括上框架、下框架、上掩膜板和下掩膜板，所述上掩膜板由所述上框架固定，所述下掩膜板由所述下框架固定，石英晶片放置在所述上掩膜板和所述下掩膜板之間。
3.根據權利要求1所述的石英振蕩器真空濺射鍍膜裝置，其特征在于：所述掩膜板上的通孔為876個。
4.根據權利要求1所述的石英振蕩器真空濺射鍍膜裝置，其特征在于：所述雙邊卡槽與兩個所述單邊卡槽之間的距離不大于5mm。
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