[發明專利]基板檢查裝置及方法有效
| 申請號: | 201410803896.7 | 申請日: | 2014-12-18 |
| 公開(公告)號: | CN104391390A | 公開(公告)日: | 2015-03-04 |
| 發明(設計)人: | 李庸珍;李彥燮;尹泰赫 | 申請(專利權)人: | 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
| 地址: | 230011 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢查 裝置 方法 | ||
1.一種基板檢查裝置,其特征在于,包括:
傳送臺,用于在其表面上承載所述基板;
區域掃描相機,其位于所述傳送臺的第一側,與所述表面相對設置,用于檢查所述基板的標準規格;
線掃描相機,其位于所述傳送臺的第一側,與所述表面相對設置,用于檢查所述基板的邊緣線及尺寸;
光源,其位于與所述傳送臺的第一側相反的第二側,用于將光線照射到所述基板上,供所述區域掃描相機及所述線掃描相機檢查所述基板使用。
2.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述區域掃描相機檢查所述基板的標準規格具體包括:
所述區域掃描相機通過掃描所述基板上的校準標記,獲取所述校準標記的位置坐標,通過掃描所述基板的圓形區域和/或C形切削區域,獲取所述圓形區域和/或所述C形切削區域的數據,并結合所述基板的圖形設計的實際坐標,檢查所述基板的標準規格。
3.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述線掃描相機檢查所述基板的邊緣線包括:
檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口,并根據檢查結果判斷所述基板是否良好。
4.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,還包括:
運行控制器,用于控制所述傳送臺、所述區域掃描相機、以及所述線掃描相機的移動。
5.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,還包括:
光源控制器,用于控制所述光源發光。
6.一種利用權利要求1~5任一項所述的基板檢查裝置對所述基板進行檢查的方法,其特征在于,包括:
在所述傳送臺的表面上裝載所述基板;
利用所述區域掃描相機檢查所述基板的標準規格;
利用所述線掃描相機檢查所述基板的邊緣線及尺寸。
7.如權利要求6所述的方法,其特征在于,利用所述區域掃描相機檢查所述基板的標準規格具體包括:
所述區域掃描相機通過掃描所述基板上的校準標記,獲取所述校準標記的位置坐標,通過掃描所述基板的圓形區域和/或C形切削區域,獲取所述圓形區域和/或所述C形切削區域的數據,并結合所述基板的圖形設計的實際坐標,檢查所述基板的標準規格。
8.如權利要求6所述的方法,其特征在于,利用所述線掃描相機檢查所述基板的邊緣線包括:
檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口,并根據檢查結果判斷所述基板是否良好。
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