[發明專利]一種水滴形擾流元微通道換熱器

在審

• 申請號: 201410802220.6
• 申請日: 2014-12-21
• 公開（公告）號: CN104576573A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 劉趙淼;張龍祥
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: H01L23/46
• 分類號: H01L23/46
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 沈波

1.一種水滴形擾流元微通道換熱器，其特征在于：該換熱器由七部分組成，分別是通道冷卻工質入口(1)、冷卻工質出口(2)、玻璃蓋板(3)、通道進口端(4)、通道出口端(5)、冷卻硅基通道(6)、水滴形擾流元(7)；

通道冷卻工質入口(1)與通道進口端(4)相連接，通道出口端(5)與冷卻工質出口(2)相連接；通道進口端(4)、通道出口端(5)之間為冷卻硅基通道(6)；水滴形擾流元(7)置于冷卻硅基通道(6)內；玻璃蓋板(3)粘合在該結構的頂端。

2.根據權利要求1所述的一種水滴形擾流元微通道換熱器，其特征在于：所述冷卻硅基微通道(6)利用刻蝕加工工藝，加工出水滴形擾流元(7)的微槽道。

3.根據權利要求1所述的一種水滴形擾流元微通道換熱器，其特征在于：工作時，溫度較低的冷卻工質由通道冷卻工質入口(1)進入通道進口端(4)，分別流進水滴形擾流元單根冷卻硅基通道(6)，由于單根通道中存在水滴形擾流元(7)，和常規微通道換熱器相比，該換熱器換熱面積增大，工質在流道內產生了渦流，冷熱流體混合增強，換熱效果增強；

較高溫度的工質最終通過通道出口端(5)到達冷卻工質出口(2)，進而流出系統，即電子元器件和微電子機械系統產生的高熱流密度熱量由水滴形擾流元微通道中流動的流體帶走，達到冷卻的目的。