[發明專利]一種自動清洗晶圓時夾持晶圓邊緣的裝置及其夾持方法

有效

• 申請號: 201410798727.9
• 申請日: 2014-12-19
• 公開（公告）號: CN105762094B
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 李曉飛
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種自動清洗晶圓時夾持晶圓邊緣的裝置，其特征在于：包括中空軸電機(1)、晶圓承片臺(2)、墊柱(3)、夾緊塊(5)及單作用彈簧復位氣缸(6)，其中晶圓承片臺(2)與所述中空軸電機(1)的輸出端密封連接，在該晶圓承片臺(2)上表面沿圓周方向均布有多個支撐晶圓(4)邊緣的墊柱(3)，所述晶圓承片臺(2)下表面沿圓周方向均布有多個單作用彈簧復位氣缸(6)，每個所述單作用彈簧復位氣缸(6)的輸出端均連接有夾持所述晶圓(4)邊緣的夾緊塊(5)；所述晶圓承片臺(2)上開有為單作用彈簧復位氣缸(6)提供工作介質的流通口，各所述夾緊塊(5)通過單作用彈簧復位氣缸(6)的伸縮沿所述晶圓(4)的徑向往復移動，實現對所述晶圓(4)邊緣的夾持或松放；

所述晶圓承片臺(2)上開設的流通口包括垂直壓縮空氣流通口(7)及水平壓縮空氣流通口(8)，該垂直壓縮空氣流通口(7)通過所述中空軸電機(1)上的通孔(10)與壓縮空氣氣源相連通，所述水平壓縮空氣流通口(8)為多個，沿圓周方向均布，每個所述水平壓縮空氣流通口(8)的一端分別與所述垂直壓縮空氣流通口(7)相連通，另一端分別連通于所述單作用彈簧復位氣缸(6)上開設的工作介質接入口(9)。

2.按權利要求1所述自動清洗晶圓時夾持晶圓邊緣的裝置，其特征在于：所述晶圓承片臺(2)的上部為圓盤狀、下部為中空圓柱狀，所述中空軸電機(1)的輸出端與晶圓承片臺(2)中空圓柱狀的下部密封連接，所述垂直壓縮空氣流通口(7)開設在該中空圓柱狀的頂部，所述水平壓縮空氣流通口(8)沿晶圓承片臺(2)圓盤狀的上部的圓周方向均布。

3.按權利要求1或2所述自動清洗晶圓時夾持晶圓邊緣的裝置，其特征在于：所述水平壓縮空氣流通口(8)、單作用彈簧復位氣缸(6)及夾緊塊(5)的數量相同。

4.按權利要求1或2所述自動清洗晶圓時夾持晶圓邊緣的裝置，其特征在于：所述晶圓承片臺(2)的邊緣沿圓周方向均布有多個條形孔(11)，每個所述條形孔(11)內均容置有夾緊塊(5)，各所述夾緊塊(5)在單作用彈簧復位氣缸(6)的帶動下，在所述條形孔(11)內往復移動。

5.一種按權利要求1所述自動清洗晶圓時夾持晶圓邊緣的裝置的夾持方法，其特征在于：通過所述中空軸電機(1)帶動晶圓承片臺(2)及晶圓(4)旋轉，通過所述晶圓承片臺(2)上開設的流通口為各所述單作用彈簧復位氣缸(6)提供工作介質，通過所述單作用彈簧復位氣缸(6)的伸縮交替，實現各所述夾緊塊(5)對晶圓(4)邊緣的夾緊或松放。

6.按權利要求5所述的夾持方法，其特征在于：初始狀態時，接通工作介質，工作介質通過所述中空軸電機(1)和晶圓承片臺(2)使單作用彈簧復位氣缸(6)的活塞桿處于伸出狀態，所述晶圓(4)處于自由狀態；當清洗工藝開始時，釋放工作介質，所述單作用彈簧復位氣缸(6)依靠自身彈簧的作用處于收縮狀態，同時，所述晶圓(4)的邊緣被夾緊塊(5)夾緊。