[發明專利]發熱體、振動器件、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201410791057.8
• 申請日: 2014-12-18
• 公開（公告）號: CN104734659B
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 林謙司;福澤晃弘
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于英慧

本發明提供發熱體、振動器件、電子設備以及移動體，能夠減少電遷移引起的斷線的可能性。發熱用IC(20)包含：形成有擴散層(22)的半導體基板(21)；用于向擴散層(22)施加電源電壓的焊盤(26a)和通孔(25a)；以及用于向擴散層(22)施加接地電壓的焊盤(26b)和通孔(25b)。通孔(25a)和通孔(25b)在俯視時與形成有擴散層(22)的區域重疊，焊盤(26a)在俯視時與通孔(25a)重疊，焊盤(26b)在俯視時與通孔(25b)重疊。經由焊盤(26a)和通孔(25a)、焊盤(26b)和通孔(25b)以及擴散層(22)流過的電流在焊盤(26a)的上表面與通孔(25a)的下表面之間、以及通孔(25b)的下表面與焊盤(26b)的上表面之間流過。

技術領域

本發明涉及發熱體、振動器件、電子設備以及移動體，例如涉及恒溫槽型石英振蕩器。

背景技術

對于在通信設備或測定器等的基準頻率信號源中使用的石英振蕩器，要求相對于溫度變化為高精度且輸出頻率穩定。通常，作為石英振蕩器中的能夠得到極高的頻率穩定度的石英振蕩器，公知有恒溫槽型石英振蕩器(OCXO：Oven Controlled CrystalOscillator)。OCXO在被控制為恒定溫度的恒溫槽內收納有石英振子，作為以往的OCXO，例如在專利文獻1中公開了如下的OCXO，該OCXO在具有發熱體的集成電路上配置石英振動元件，并將其與其它電路元件一起配置到封裝內。此外，在專利文獻2中公開了面狀的發熱體。

【專利文獻1】日本特開2010-213280號公報

【專利文獻2】日本特開2009-123354號公報

但是，在專利文獻1所記載的OCXO中，記載了在具有發熱體的集成電路上配置石英振動元件的結構，但通常被供給到發熱體的電力較大，因此根據用于向發熱體供給電力的布線的結構不同，布線所使用的金屬可能產生電遷移，從而造成斷線。此外，在專利文獻2中，設置了將向面狀的發熱體供給電力的導線和發熱體連接起來的布線，但例如在向發熱體供給大電力的情況下，如果在導線與發熱體之間，在沿著表面的方向上使用較長的布線，則布線所使用的金屬可能產生電遷移，從而造成斷線。

發明內容

本發明正是鑒于以上問題點而完成的，根據本發明的幾個方式，能夠提供一種可減少電遷移引起的斷線的可能性的發熱體、使用了該發熱體的振動器件、以及使用了該發熱體或該振動器件的電子設備和移動體。

本發明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應用例來實現。

[應用例1]

本應用例的發熱體包含：發熱單元，其形成于半導體基板；以及輸入單元，其在俯視時與所述發熱單元重疊，用于向所述發熱單元輸入電流，所述輸入單元具有正面和與所述正面相反的背面，所述背面和所述發熱單元被電連接，在所述發熱單元中流過的電流是在所述輸入單元的所述正面與所述背面之間流過而被輸入到所述發熱單元的。

根據本應用例的發熱體，用于對形成于半導體基板的發熱單元輸入電流的輸入單元被配置成，電流在正面與背面之間流過，因此輸入單元的厚度成為電流流過的距離，輸入單元的面積成為電流流過的截面積。因此，能夠減小在輸入單元中流過的電流的密度，從而能夠減少電遷移引起的斷線的可能性。

[應用例2]