[發明專利]寬帶離子束水平均勻性調節方法在審
| 申請號： | 201410788974.0 | 申請日： | 2014-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN105895487A | 公開（公告）日： | 2016-08-24 |
| 發明（設計）人： | 張進學;王孟志 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 寬帶 離子束 水平 均勻 調節 方法 | ||
【說明書】：
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