[發明專利]一種壓電薄膜泵及其制作方法

有效

• 申請號: 201410787635.0
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN104533762A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 任巍;趙蓓;徐峰;劉紅偉;崔興業;吳小清;史鵬
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;B23P15/00;H01L41/04
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

1.一種壓電薄膜泵，其特征在于，自上到下依次包括蓋板(2)、壓電膜(1)、用于為流體流動提供通道的通道層(3)、以及基板，蓋板(2)、壓電膜(1)、通道層(3)及基板之間相互連接；

所述壓電膜(1)的上表面及下表面正對鍍有導電膜區，導電膜區包括壓電薄膜泵的工作區電極(4)以及與壓電薄膜泵的工作區電極相連接的導通區域(5)；

所述蓋板(2)上開設有第一通孔(6)，第一通孔(6)正對壓電膜(1)上對應的壓電薄膜泵的工作區電極(4)，通道層(3)上開設有流體通道，流體通道的一端與外界相連通，流體通道包括第二通孔(7)、儲液池通孔(8)、收液池通孔(9)及通道槽孔(10)，第二通孔(7)正對第一通孔(6)，第二通孔(7)與收液池通孔(9)及儲液池通孔(8)之間均通過通道槽孔(10)相連通。

2.根據權利要求1所述的壓電薄膜泵，其特征在于，所述壓電膜(1)為已經極化且不帶電極層的具有壓電效應的壓電薄膜。

3.根據權利要求1所述的壓電薄膜泵，其特征在于，所述蓋板(2)、通道層(3)及基板均由玻璃、硅、二氧化硅、陶瓷、有機玻璃、聚丙烯、聚酰亞胺、聚四氟乙烯、有機硅烷、紙、尼龍及橡膠中一種或者對其進行改性或復合而成的材料制作而成。

4.根據權利要求1所述的壓電薄膜泵，其特征在于，所述儲液池通孔(8)中的液體向第二通孔(7)中流入過程中的阻力與收液池通孔(9)中的液體向第二通孔(7)中流入過程中的阻力不同；

所述第二通孔(7)中的液體向儲液池通孔(8)中流入過程中的阻力與第二通孔(7)中的液體向收液池通孔(9)中流入過程中的阻力不同。

5.根據權利要求1所述的壓電薄膜泵，其特征在于，所述通道槽孔(10)為梯形結構或Y型結構。

6.根據權利要求1所述的壓電薄膜泵的制作方法，其特征在于，基于權利要求1所述的壓電薄膜泵，包括以下步驟：

1)取一定形狀的壓電膜(1)，將壓電膜(1)按照極化方向固定在夾具上，并在所述壓電膜(1)的上表面及下表面分別鍍導電膜，使壓電膜(1)的上表面及下表面均形成鍍膜區，所述鍍膜區包括壓電薄膜泵的工作電極區(4)及與壓電薄膜泵的工作區電極相連接的導通區域(5)；

2)取蓋板(2)、通道層(3)及基板，再在蓋板(2)上開設第一通孔(6)，并在通道層(3)上開設儲液池通孔(8)、收液池通孔(9)、通道槽孔(10)、以及正對第一通孔(6)的第二通孔(7)，第一通孔(6)正對壓電膜(1)上壓電薄膜泵的工作區電極(4)，然后再將蓋板(2)、壓電膜(1)、通道層(3)及基板自上到下依次固定連接，最后給導通區域(5)上連接測試引線，得壓電薄膜泵。