[發(fā)明專利]一種Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410784590.1 | 申請(qǐng)日： | 2014-12-16 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104464838A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鐘博文;王振華;金子祺;陳林森;錢哲;李宗偉;孫立寧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G12B5/00 | 分類號(hào)： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐靈;常亮 |
| 地址： | 215137 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 大一 精密 定位 平臺(tái) | ||
1.一種Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：包括Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)、用于保護(hù)Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)的基座、位于Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)上方的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)包括若干柔性臂、固定在柔性臂兩側(cè)的平行板、連接柔性臂與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的輸出件、壓電陶瓷安裝件以及與基座連接固定的底盤，所述平行板通過柔性鉸鏈與柔性臂柔性連接，位于所述平行板之間、所述Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)下方、所述底盤上方的空間內(nèi)設(shè)置有壓電陶瓷，所述壓電陶瓷通過設(shè)置在兩側(cè)的平行板上的壓電陶瓷安裝件固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述壓電陶瓷安裝件包括預(yù)緊螺母以及鋼珠，與壓電陶瓷柔性連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述預(yù)緊螺母采用細(xì)牙螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)的放大倍數(shù)為4倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：位于所述壓電陶瓷下方的底盤上設(shè)置有容納屏蔽線的保護(hù)套。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述Z軸負(fù)向放大機(jī)構(gòu)與基座螺釘連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上表面設(shè)置有用于安裝運(yùn)動(dòng)件的連接螺紋。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸負(fù)向放大一維精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)外圍設(shè)置有上蓋板，所述上蓋板架設(shè)于所述基座上。
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