[發(fā)明專利]一種用于搖擺式晶料合成爐的平底雙凸輪搖擺機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410782168.2
• 申請(qǐng)日: 2014-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN104695024A
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翟慎秋;王珮;滕東曉;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開姓名
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C30B30/06
• 分類號(hào): C30B30/06
• 代理公司: 無(wú)
• 代理人: 無(wú)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于晶料合成爐的一種新型的平底雙凸輪搖擺機(jī)構(gòu)，屬于晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在進(jìn)行晶體生長(zhǎng)時(shí)，首先需要把生長(zhǎng)晶體的晶料進(jìn)行合成，其方法是把晶料裝進(jìn)玻璃坩堝中密封后進(jìn)行熔化，使晶料充分混合均勻并形成晶體生長(zhǎng)時(shí)所需要的成分。晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量與晶料合成的均勻程度密切相關(guān)。一般來(lái)說(shuō)，混合質(zhì)量越好、成分越均勻，隨后晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量也會(huì)越好。為使晶料合成均勻，通常把裝有晶料的玻璃坩堝放置在一個(gè)搖擺爐內(nèi)反復(fù)搖擺，這一過(guò)程往往需要8到12小時(shí)。通常合成爐采用曲柄搖桿機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)搖擺（如YBL180）,使用中發(fā)現(xiàn)這種搖擺機(jī)構(gòu)在搖擺的過(guò)程中由于合成爐比較重，常常導(dǎo)致較大的沖擊和振動(dòng)，有時(shí)會(huì)把玻璃坩堝振碎。另外，搖擺機(jī)構(gòu)在使用中磨損較大，也會(huì)帶來(lái)額外的沖擊。

附圖說(shuō)明

圖1是搖擺式晶料合成爐的平底雙凸輪搖擺機(jī)構(gòu)的示意圖；

圖中：1、傳動(dòng)軸???2、機(jī)架???3、主動(dòng)錐齒輪???4、凸輪??5、從動(dòng)錐齒輪??6、凸輪軸???7、主動(dòng)錐齒輪?8、凸輪軸?9、從動(dòng)錐齒輪??10、凸輪????11、凸輪平底??12、凸輪平底?13、合成爐

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種能克服上述缺陷、使用時(shí)運(yùn)行平穩(wěn)、沒(méi)有沖擊、使用可靠、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便的新的搖擺裝置。

其技術(shù)方案為：一種新型的平底雙凸輪搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括機(jī)架，安裝在機(jī)架上的傳動(dòng)軸，其上安裝兩個(gè)錐齒輪；安裝在機(jī)架上的兩根凸輪軸分別安裝兩個(gè)凸輪和兩個(gè)錐齒輪；傳動(dòng)軸上的兩個(gè)錐齒輪分別于兩個(gè)凸輪軸上的錐齒輪嚙合；兩個(gè)凸輪平底以合成爐的轉(zhuǎn)軸為中心分別對(duì)稱地安裝在合成爐的下底面；兩個(gè)凸輪分別位于兩凸輪平底的下面并分別與兩凸輪平底接觸構(gòu)成凸輪副。

所述的用于搖擺式晶料合成爐的平底雙凸輪搖擺機(jī)構(gòu)，其凸輪的輪廓形狀特征具有相同的近停角和遠(yuǎn)停角（均為30°）、具有相同的升程角和回程角（均為150°）、升程角和回程角對(duì)應(yīng)的位移曲線均采用等加速等減速位移曲線；所述的用于搖擺式晶料合成爐的平底雙凸輪搖擺機(jī)構(gòu)，其兩個(gè)凸輪的安裝相位角保持180°。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點(diǎn)是：

1、采用的是平底搖擺凸輪機(jī)構(gòu)，加工方便，便于維修與更換。

2、采用一對(duì)平底搖擺凸輪機(jī)構(gòu)對(duì)稱安裝，不需要形鎖合，只需靠爐體自身的重力實(shí)現(xiàn)鎖合，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可靠。

3、由于凸輪采用了相同的近停角和遠(yuǎn)停角以及用等加速等減速位移曲線，這不僅基本消除了搖擺到極限位置時(shí)的沖擊和慣性，且由于存在一停歇期（30°的轉(zhuǎn)角時(shí)間），可以加大爐料的均勻混合以及降低爐料對(duì)鍍膜的沖刷作用。