[發(fā)明專利]一種離子發(fā)生引出裝置及其控制方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410781908.0 | 申請日: | 2014-12-16 |
| 公開(公告)號: | CN104535643A | 公開(公告)日: | 2015-04-22 |
| 發(fā)明(設計)人: | 馮旭東;孫強 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | G01N27/66 | 分類號: | G01N27/66 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人: | 田春梅 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 離子 發(fā)生 引出 裝置 及其 控制 方法 | ||
1.一種離子發(fā)生引出裝置,其特征在于,該裝置包括離子發(fā)生模塊、兩個氣路模塊、離子引出模塊和離子控制門模塊;
所述離子發(fā)生模塊含有一PID燈,PID燈上面包覆有兩片PID燈電極,高壓電場由此引入,PID燈下部為PID燈窗口;在PID燈窗口處有一上電位網(wǎng)柵片,與PID燈窗口處的硅膠密封圈緊密配合,并且與其下部的上氣路模塊連接,上氣路模塊中間與側壁之間有一圓環(huán)空腔,氣體由此進入,上氣路模塊中間為一通孔內(nèi)腔,上電位網(wǎng)柵片在上述圓環(huán)空腔和通孔內(nèi)腔上部與離子發(fā)生模塊的下部緊密結合,上電位網(wǎng)柵片與圓環(huán)空腔之間為有網(wǎng)筋連接的圓環(huán)孔,進入的氣體由此進入并吹向PID燈窗口,然后由上電位網(wǎng)柵片中間吹出進入通孔內(nèi)腔,上電位網(wǎng)柵片與上氣路模塊中間的通孔內(nèi)腔構成電離室,PID燈發(fā)出確定波長的光子流與通過上氣路模塊進入的氣體在此處電離,使樣品氣體均勻到達PID燈窗口,并且垂直于PID燈發(fā)出的確定波長的光子流形成離子流;
所述離子引出模塊位于電離室的下部,它的結構是三片電場環(huán)片中間安裝有兩片絕緣環(huán)體,在三片電場環(huán)片上加以等值梯度電位,使得在三片電場環(huán)片中間產(chǎn)生均勻電場;離子引出模塊的下部為中氣路模塊,中氣路模塊的結構與上氣路模塊完全相同,其用于排氣,多余的氣體由中氣路模塊的圓環(huán)空腔排出;
所述離子控制門模塊為三片中間鏤空成線條狀的金屬環(huán)片,即三片離子門片,上下兩片離子門片的結構完全相同并且短路連接,中間一片離子門片的線條與另兩片離子門片的位置錯開,并且與上下兩片之間有絕緣墊片。
2.如權利要求1所述一種離子發(fā)生引出裝置的控制方法,其特征在于,該控制方法包括如下步驟:
微處理器單元通過PID電極單元控制PID燈點亮,使PID燈發(fā)射出光子流;
微處理器單元通過離子室電場單元控制進入圓環(huán)空腔內(nèi)的氣體由圓環(huán)孔進入并吹向PID燈窗口,然后由上電位網(wǎng)柵片中間吹出進入通孔內(nèi)腔;同時,微處理器單元通過離子室電場單元控制離子引出模塊在三片電場環(huán)片中間產(chǎn)生均勻電場;
微處理器單元通過離子門單元控制離子控制門模塊的開啟與關閉:若在三片離子門片上加以等值梯度電位,則在三片離子門片中間產(chǎn)生均勻電場,離子流就會沿著電場方向運動并且穿過離子控制門模塊繼續(xù)下行;若在中間的離子門片施加低于上下兩片離子門片的電位,則離子流就會流入中間離子門片,離子流沿著電場方向運動截止。
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