[發明專利]一種基于平板式電容檢測的微梁斷裂強度的測試結構

有效

• 申請號: 201410768361.0
• 申請日: 2014-12-12
• 公開（公告）號: CN104458417A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 唐潔影;唐丹;王磊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N3/08
• 分類號: G01N3/08;G01N3/06
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種基于平板式電容檢測的微梁斷裂強度的測試結構，其特征在于該結構包括襯底(1)、置于襯底(1)之上的測量結構(2)和參考結構(3)；其中測量結構(2)由下極板(201)、上極板(202)、兩根熱臂梁(203)、被測微梁(205)、第一錨區(204)和第二錨區(206)構成；參考結構(3)除了不帶有被測微梁，其余部分與測量結構(2)完全相同；

所述下極板(201)沉積于襯底(1)的上表面，下極板(201)上生長有介質薄層；

所述第一錨區(204)、第二錨區(206)置于襯底(1)上；

所述兩根熱臂梁(203)與上極板(202)垂直相連，另一端固定在錨區(204)側面；

所述被測微梁(205)平行并介于兩熱臂梁(203)之間，一端與上極板(202)一側面的中部相連，另一端固定在錨區(205)的一個側面；

所述上極板(202)、兩根熱臂梁(203)以及被測懸臂梁(205)位于同一平面并懸置在襯底(1)上方，與襯底(1)所在平面平行。

所述下極板(201)初始時緊臨上極板(202)正下方區域，但不為上級板(202)所遮擋；

2.一種基于平板式電容檢測的微梁斷裂強度的測試結構，其特征在于：熱臂梁(203)通電發生熱膨脹推動上極板(202)向前方移動，同時拉伸被測微梁，上極板(202)移動后會部分遮擋住下極板(201)，從而與下極板(2)之間形成平板電容。