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[發明專利]均熱性熱板在審

專利信息
申請號: 201410760838.0 申請日: 2014-12-13
公開(公告)號: CN105762125A 公開(公告)日: 2016-07-13
發明(設計)人: 趙少華;張志勇;趙鎖義;趙煒 申請(專利權)人: 西安寶萊特光電科技有限公司
主分類號: H01L23/42 分類號: H01L23/42;H01L23/367
代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114 代理人: 李罡
地址: 710075 陜*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 均熱 性熱板
【說明書】:

技術領域

發明涉及一種加熱設備,具體涉及一種均熱性熱板。

背景技術

在有機發光器件領域,基片在做金屬沉淀前,經常需要去氣,預清洗及沉淀等幾個步驟,其中所述去氣步驟是指使基片升溫至一定溫度以去除基片上的水蒸氣及其它易揮發性雜質的工藝步驟,在加熱基片的過程中,既要求使基片快速升溫,又要保證基片各區域的升溫均勻;否則,會影響后續步驟的均勻性、更甚者將造成基片破碎等的問題,熱板作為基片去氣的加熱設備,其結構設計以及材料品質直接影響著基片受熱的均勻性,如何設計熱板的結構使其溫度更軍營內是業界一直在探索的一個問題。

發明內容

針對背景技術中存在的不足,本發明的目的是提供一種均熱性熱板。

本發明的技術方案是這樣實現的:一種的均熱性熱板,主要包括基座,所述基座厚度為,其具有相對的第一側邊和第二側邊,由第一側邊向基座內部澆鑄有多個左加熱棒,由第二側邊向基座內部澆鑄有多個右加熱棒,左加熱棒與右加熱棒交錯排列,左加熱棒的末端未穿過第二側邊,右加熱棒的末端未穿過第一側邊。

作為優選地,所述基座呈方形。

作為優選地,左加熱棒數量為3個,右加熱棒數量為2個。

本發明與現有技術相比,存在以下優點:采用上述結構,本發明在15mm-22mm的厚度范圍內,通過對加熱棒合理排布,使得熱板溫度得以均勻分布。

附圖說明

圖1是本發明的立體結構示意圖;

圖2為本發明的剖面結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。

如附圖1所示,本發明所述的均熱性熱板,主要包括基座1,所述基座1厚度為15mm-22mm,其具有相對的第一側邊11和第二側邊12,由第一側邊11向基座1內部澆鑄有多個左加熱棒2,由第二側邊12向基座1內部澆鑄有多個右加熱棒3,左加熱棒2與右加熱棒3交錯排列,左加熱棒2的末端未穿過第二側邊12,右加熱棒3的末端未穿過第一側邊11。

以上所述左右位置僅為描述需要而定義,本發明并不局限于上述位置定義,上述其他特征也僅為本發明的較佳實施例而已,凡在本發明的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發明的保護范圍之內。

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2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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