[發明專利]瑕疵檢測方法及其裝置

有效

• 申請號: 201410756951.1
• 申請日: 2014-12-11
• 公開（公告）號: CN105572133B
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 洪國峰
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 曹玲柱

1.一種瑕疵檢測方法，其特征在于，包含：

依據一待測工件的結構，對該待測工件表面的至少一待測區域，決定至少一入射路徑與至少一反射路徑，該至少一待測區域、該至少一入射路徑與該至少一反射路徑均一一對應；

對該至少一待測區域中每一該待測區域，以一光源依據對應的該入射路徑照射該待測區域；

對該至少一待測區域中每一該待測區域，依據對應的該反射路徑，使該光源照射于該待測區域的反射光成像至一屏幕以得到至少一反射圖像，該至少一反射圖像與該至少一待測區域一一對應；以及

分析該至少一反射圖像以判斷該待測工件是否有瑕疵；

其中，該待測工件是指一凸面且可反光的工件。

2.根據權利要求1所述的瑕疵檢測方法，其中依據該待測工件的結構，對該待測工件表面的該至少一待測區域，決定該至少一入射路徑與該至少一反射路徑的步驟中，是依據該待測工件的一計算機輔助設計立體圖對該至少一待測區域，決定對應的該至少一入射路徑以及至少一反射路徑。

3.根據權利要求1所述的瑕疵檢測方法，其中在以該光源照射該至少一待測區域的步驟中，其照射方式是以一機械手臂移動該光源與該屏幕或固定該光源與該屏幕并移動該待測工件。

4.根據權利要求1所述的瑕疵檢測方法，其中若該至少一反射圖像是一反射圖像，則在判斷該待測工件是否有瑕疵的步驟中包含：

比對關于該待測工件的一基準圖像與該反射圖像；

當該基準圖像的至少一像素與該反射圖像中對應的至少一像素的亮度差超過一亮度差閥值，則判斷該待測工件具有瑕疵；以及

當該基準圖像的每一像素與該反射圖像中對應的每一像素的亮度差不超過該亮度差閥值，則判斷該待測工件不具有瑕疵。

5.根據權利要求1所述的瑕疵檢測方法，其中若該至少一反射圖像是一反射圖像，則在判斷該待測工件是否有瑕疵的步驟中包含：

分析該反射圖像中多個像素；

當該些像素中任意兩相近像素的亮度差超過一亮度差閥值，則判斷該待測工件具有瑕疵；以及

當該些像素中任意兩相近像素的亮度差皆不超過該亮度差閥值，則判斷該待測工件不具有瑕疵。

6.根據權利要求1所述的瑕疵檢測方法，其中若該至少一反射圖像是多張反射圖像，則在分析該待測工件是否有瑕疵的步驟中包含：

對每一該反射圖像計算對應的一平均亮度值，以得到多個平均亮度值；

若該些平均亮度值其中之一不屬于一亮度區間，則判斷該待測工件具有瑕疵；以及

若每一該平均亮度值均屬于該亮度區間，則判斷該待測工件不具有瑕疵。

7.根據權利要求1所述的瑕疵檢測方法，其中若該至少一反射圖像是多張反射圖像，則在分析該待測工件是否有瑕疵的步驟中包含：

對每一該反射圖像計算對應的一亮度分布值，以得到多個亮度分布值；

若該些亮度分布值其中之一超過一亮度分布閥值，則判斷該待測工件具有瑕疵；以及

若每一該亮度分布值均不超過該亮度分布閥值，則判斷該待測工件不具有瑕疵。

8.根據權利要求7所述的瑕疵檢測方法，其中該亮度分布值是指對應該反射圖像的像素亮度變異數。

9.一種瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包含：

一控制模塊，用以依據一待測工件的結構，對該待測工件表面的至少一待測區域，決定至少一入射路徑與至少一反射路徑，該至少一待測區域、該至少一入射路徑與該至少一反射路徑均一一對應；

一光源模塊，用以對該至少一待測區域中每一該待測區域，依據對應的該入射路徑照射該待測區域；

一屏幕，用以對該至少一待測區域中每一該待測區域，依據對應的該反射路徑，使該光源照射于該待測區域的反射光成像至該屏幕以得到至少一反射圖像，該至少一反射圖像與該至少一待測區域一一對應；以及

一檢測模塊，用以擷取并分析該至少一反射圖像以判斷該待測工件是否有瑕疵；

其中，該待測工件是指一凸面且可反光的工件。