[發明專利]一種多晶硅鑄錠用高效氮化硅粉的制備方法

在審

• 申請號: 201410749350.8
• 申請日: 2014-12-09
• 公開（公告）號: CN104532344A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 郭大為;呂東;宋麗岑;柏小龍;孫洪亮;郭大榮
• 申請（專利權）人: 煙臺同立高科新材料股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種多晶硅鑄錠用高效氮化硅粉的制備方法，其特征在于，包括：

1)采用純度大于99.9％、粒徑為0.01μm～10μm的硅粉、碳化硅粉和氮化硅粉為原料，溶于純水中攪拌混合均勻，得到混合劑，其中，硅粉和碳化硅粉的混合物作為多晶鑄錠形核劑；

2)待石英坩堝進行常規的氮化硅噴涂結束后，將混合劑噴涂或刷涂在石英坩堝的底部以及側壁，形成厚度為0.01mm～2mm的混合劑涂層，待混合劑涂層干燥后，獲得不龜裂的混合劑涂層與/或龜裂的混合劑涂層，最后裝料鑄錠，長晶時不龜裂的混合劑涂層以硅與碳化硅作為形核點進行鑄錠生長，而龜裂的混合劑涂層則以硅、碳化硅及裂縫作為形核點長晶，獲得多晶硅鑄錠。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在1)中，所述形核劑中硅粉和碳化硅粉的重量比為(0.1～9):1，而形核劑與氮化硅粉的重量比為(1～10):90。