[發明專利]負性光敏性樹脂組合物有效
| 申請號: | 201410748626.0 | 申請日: | 2014-12-09 |
| 公開(公告)號: | CN104698753B | 公開(公告)日: | 2022-08-23 |
| 發明(設計)人: | 樸京在;金承根;金應坤 | 申請(專利權)人: | 羅門哈斯電子材料韓國有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/027 | 分類號: | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 郭輝 |
| 地址: | 韓國忠*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光敏 樹脂 組合 | ||
1.一種光敏性樹脂組合物,其包含:
(A)共聚物,其包括(a1)衍生自烯鍵式不飽和羧酸,烯鍵式不飽和羧酸酸酐,或其混合物的結構單元,(a2)衍生自具有脂環族環氧基團的不飽和單體的結構單元,和(a3)衍生自烯鍵式不飽和化合物的結構單元,其不同于結構單元(a1)和(a2);
(B)可聚合的不飽和化合物;
(C)光聚合引發劑;和
(D)具有通式(I)的硅烷偶聯劑:
其中
R1各自獨立地是氫、或直鏈、支鏈或環狀C1-6烷基或C1-6烷氧基;
X,Y和Z各自獨立地是直鏈、支鏈或環狀C1-6烷基;和
n和a各自獨立地為1-5的整數,
其中所述光敏性樹脂組合物包括0.01-0.5重量%的通式(I)的硅烷偶聯劑,以排除溶劑的光敏性樹脂組合物的總重量為基準計。
2.如權利要求1所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,所述具有通式(I)的硅烷偶聯劑是N-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷。
3.如權利要求1所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,用于提供結構單元(a2)的具有脂環族環氧基團的不飽和單體可用通式(II)表示:
其中
R3是氫或C1-C4烷基;和
R2是C1-C4亞烷基。
4.如權利要求3所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,所述由通式(II)表示的單體是丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯或者甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯。
5.如權利要求1所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,以構成共聚物的結構單元的總摩爾數為基準計,所述共聚物(A)分別包括5-50摩爾%、10-50摩爾%和5-70摩爾%的結構單元(a1)、(a2)和(a3)。
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