[發明專利]一種光刻機電氣伺服對位控制系統及控制方法

有效

• 申請號: 201410745415.1
• 申請日: 2014-12-08
• 公開（公告）號: CN104460240A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 黃建
• 申請（專利權）人: 志圣科技（廣州）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 任琳

1.一種光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于，包括:氣動三聯件、電氣伺服方向流量閥、電氣比例節流器、由伺服氣缸和液壓缸串聯而成的氣液阻尼缸、支撐在光刻機的工作臺下方的靜壓氣浮導軌、用于檢測工作臺位置的CCD圖像傳感器和可實現控制運算并輸出控制信號的光刻機控制器，所述氣動三聯件連接氣源，所述的氣動三聯件通過兩個管道分別連接至電氣伺服方向流量閥和靜壓氣浮導軌，所述電氣伺服方向流量閥連接至伺服氣缸，所述電氣比例節流器連接至液壓缸，所述液壓缸的推桿連接至工作臺，所述CCD圖像傳感器位于工作臺的上方，所述的電氣伺服方向流量閥、電氣比例節流器和CCD圖像傳感器均連接至光刻機控制器。

2.如權利要求1所述的光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于：還包括兩個第一減壓閥，每個所述管道上設有一所述第一減壓閥。

3.如權利要求2所述的光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于：所述氣動三聯件包括依次連接的分水過濾器、第二減壓閥和油霧器，所述分水過濾器連接至氣源，所述油霧器連接至所述的兩個管道。

4.如權利要求3所述的光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于：所述靜壓氣浮導軌內設有節流器，所述靜壓氣浮導軌和氣動三聯件之間的管道連接至靜壓氣浮導軌的節流器和油霧器。

5.如權利要求1至4任一項所述的光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于：所述電氣伺服方向流量閥是輸出流量隨輸入電流成比例變化的氣動閥。

6.如權利要求1至4任一項所述的光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于：所述電氣比例節流器是開口量隨輸入電流成比例變化的可變液壓阻尼器。

7.如權利要求1至4任一項所述的光刻機電氣伺服對位控制系統，其特征在于：所述伺服氣缸與電氣伺服方向流量閥之間連接有一對進出液循環管道，所述液壓缸與電氣比例節流器之間連接有一對進出液循環管道。

8.一種根據權利要求1所述的光刻機電氣伺服對位控制系統的對位控制方法，其特征在于，該控制方法包括:

(1)通過光刻機控制器設定好工作臺的位置；

(2)使氣源通過氣動三聯件分別向電氣伺服方向流量閥和靜壓氣浮導軌提供恒定壓力的氣體，以使通過靜壓氣浮導軌進入工作臺底端的氣體在靜壓氣浮導軌與工作臺之間建立起支撐工作臺的氣墊；

(3)通過CCD圖像傳感器檢測工作臺位置并將信號傳輸給光刻機控制器，使光刻機控制器控制電氣伺服方向流量閥輸出的流量大小和電氣比例節流器開口量大小，以控制阻尼力大小，使氣液阻尼缸驅動工作臺運動至設定位置。

9.如權利要求8所述的對位控制方法，其特征在于：步驟(2)中的氣源通過氣動三聯件后還經過兩個第一減壓閥后再向電氣伺服方向流量閥和靜壓氣浮導軌提供。