[發明專利]一種機器臂滑軌的表面處理方法

在審

• 申請號: 201410739961.4
• 申請日: 2014-12-08
• 公開（公告）號: CN105734510A
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發明（設計）人: 宋明安;王小龍;孫潔;同彥恒;李志博;麻輝
• 申請（專利權）人: 寧夏巨能機器人系統有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/02;C23C14/58
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種機器臂滑軌的表面處理方法，其特征在于步驟如下：

A、將機器臂滑軌的表面進行打磨，使其表面粗糙度保持在Ra0.45～Ra0.55；

B、將經過步驟A處理過的機器臂滑軌作為陰極放入電解池進行處理，陽極采用碳棒，電解液的組分包括蒸餾水、氯化鈉、硫酸鉀、硫酸鋅、N-叔丁基芐胺、2-氮己環酮、氯化銅；

C、將經過步驟B處理過的機器臂滑軌加熱至300℃～400℃，然后放入25℃～30℃的水中冷卻，循環進行3～5次；

D、將經過步驟C處理過的機器臂滑軌放入真空腔室，使用鋁離子束和碲離子束先后對機器臂滑軌進行處理，鋁離子的能量為40～100Kev，劑量為5×10²⁵～1×10³⁰/cm²，碲離子的能量為540Kev～700Kev，劑量為1×10¹⁰～1×10¹⁵/cm²；

E、將進過步驟D處理過的機器臂滑軌放入濺射腔室，使用鋁硅靶對機器臂滑軌進行濺射處理；

F、將經過步驟E處理過的機器臂滑軌放入反應腔室，在反應腔室內充入氮氣、氦氣和三氟化氮的混合氣體，并使用射頻電源使其電離，對機器臂滑軌進行處理，反應腔室的溫度保持在550℃～750℃，將機器臂滑軌放入反應腔室后，在機器臂滑軌表面均勻噴灑一層釓和N-(3-羥基苯基)乙酰胺的絡合物；

G、將經過步驟F處理過的機器臂滑軌使用清水進行清洗，烘干后涂抹潤滑脂進行保存。

2.根據權利要求1所述的機器臂滑軌的表面處理方法，其特征在于：步驟B中，電解液的組分含量為：

電解液的溫度為55°，陰極電流密度為3.5A/dm²,處理時間為10min。

3.根據權利要求1所述的機器臂滑軌的表面處理方法，其特征在于：步驟D中，真空腔室內設置兩個離子束入口，兩個離子束入口圍繞機器臂滑軌放置位置的中心線對稱設置，離子束入口與機器臂滑軌放置位置的中心線的夾角為75°；每個離子束入口先注入鋁離子束，持續25min，然后每個離子束入口再注入碲離子束，持續15min。

4.根據權利要求1所述的機器臂滑軌的表面處理方法，其特征在于：步驟E中，濺射腔室充入氬氣，氣壓保持在15Pa～50Pa，工作電壓為400V，工作電流1.5A，濺射時間為30min，在靶材兩側設置第一磁體，在放置機器臂滑軌的基片底部設置第二磁體，第一磁體的磁場強度在濺射過程中呈正弦曲線規律變化，使靶材中心的磁場強度在60～80mT之間變化。

5.根據權利要求1所述的機器臂滑軌的表面處理方法，其特征在于：步驟F中，混合氣體的組分含量為：

氮氣85％，

氦氣10％，

三氟化氮5％，

射頻電源的工作頻率為250kHz，工作電壓為120V。