[發明專利]7700nm長波通紅外濾光敏感元件

有效

• 申請號: 201410734472.X
• 申請日: 2014-12-07
• 公開（公告）號: CN104597548A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 王繼平;呂晶;劉晶
• 申請（專利權）人: 杭州麥樂克電子科技有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 周豪靖

1.一種7700nm長波通紅外濾光敏感元件，包括以Ge為原材料的基板（2），以Ge、ZnS為第一鍍膜層（1）和以Ge、ZnS為第二鍍膜層（3），且所述基板（2）設于第一鍍膜層（1）與第二鍍膜層（3）之間，其特征是所述第一鍍膜層（1）由內向外依次排列包含有167nm厚度的Ge層、239nm厚度的ZnS層、225nm厚度的Ge層、415nm厚度的ZnS層、138nm厚度的Ge層、342nm厚度的ZnS層、138nm厚度的Ge層、256nm厚度的ZnS層、173nm厚度的Ge層、266nm厚度的ZnS層、159nm厚度的Ge層、505nm厚度的ZnS層、142nm厚度的Ge層、249nm厚度的ZnS層、126nm厚度的Ge層、276nm厚度的ZnS層、395nm厚度的Ge層、180nm厚度的ZnS層、168nm厚度的Ge層、492nm厚度的ZnS層、133nm厚度的Ge層、629nm厚度的ZnS層、185nm厚度的Ge層、266nm厚度的ZnS層、313nm厚度的Ge層、503nm厚度的ZnS層、141nm厚度的Ge層、589nm厚度的ZnS層、193nm厚度的Ge層、367nm厚度的ZnS層、348nm厚度的Ge層、897nm厚度的ZnS層、70nm厚度的Ge層、294nm厚度的ZnS層、49nm厚度的Ge層、406nm厚度的ZnS層、621nm厚度的Ge層、959nm厚度的ZnS層；所述的第二鍍膜層（3）由內向外依次排列包含有180nm厚度的Ge層、375nm厚度的ZnS層、312nm厚度的Ge層、620nm厚度的ZnS層、385nm厚度的Ge層、535nm厚度的ZnS層、266nm厚度的Ge層、577nm厚度的ZnS層、95nm厚度的Ge層、555nm厚度的ZnS層、295nm厚度的Ge層、581nm厚度的ZnS層、370nm厚度的Ge層、660nm厚度的ZnS層、350nm厚度的Ge層、810nm厚度的ZnS層、277nm厚度的Ge層、670nm厚度的ZnS層、416nm厚度的Ge層、744nm厚度的ZnS層、279nm厚度的Ge層、582nm厚度的ZnS層、530nm厚度的Ge層、660nm厚度的ZnS層、243nm厚度的Ge層、581nm厚度的ZnS層、563nm厚度的Ge層、1081nm厚度的ZnS層。