[發(fā)明專利]一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410734329.0 | 申請(qǐng)日: | 2014-12-04 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN104505347A | 公開(kāi)(公告)日: | 2015-04-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 崔麗靜;李宗懌;夏冬;王菲菲;吳海鴻 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/48 | 分類號(hào): | H01L21/48;H01L23/373 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙)32210 | 代理人: | 唐紉蘭;沈國(guó)安 |
| 地址: | 214434江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 塑封 過(guò)程 中貼裝 石墨 散熱 薄膜 方法 | ||
1.一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于所述方法包括以下步驟:
步驟一、對(duì)石墨烯散熱薄膜進(jìn)行預(yù)處理
(1)首先將石墨烯散熱薄膜黏貼在承載膜上,石墨烯與承載膜有粘性的一面接觸;
(2)將石墨烯薄膜根據(jù)基板尺寸進(jìn)行預(yù)切割,在切割過(guò)程中,需控制切割厚度,切割至承載膜,使承載膜在后續(xù)使用時(shí)不斷裂;
步驟二、塑封模具上安裝石墨烯薄膜
將預(yù)處理完成的石墨烯薄膜安裝在塑封模具上模
步驟三、合模、開(kāi)模注塑過(guò)程
注塑模具下模固定,上模上下移動(dòng),進(jìn)行開(kāi)模合模動(dòng)作,注塑過(guò)程中石墨烯薄膜跟隨上模一起下壓進(jìn)行合模,注塑完成后,石墨烯薄膜成功的粘附在芯片背面塑封體表面;
步驟四、開(kāi)模后,卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)為下次塑封做準(zhǔn)備
當(dāng)注塑完成,上模開(kāi)模后,塑封好的產(chǎn)品被移走,將未塑封的產(chǎn)品繼續(xù)放入模穴中,同時(shí)塑封模具上模的卷軸轉(zhuǎn)動(dòng),使上模模壁緊貼載有石墨烯薄膜的承載膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于所述承載膜為一種在溫度160-180℃,加熱時(shí)間2分鐘后粘性降低的熱剝離膠帶。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于所述承載膜為一種耐高溫180℃的UV膜,在預(yù)切割后需要進(jìn)行UV照射。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于所述石墨烯散熱薄膜為無(wú)膠的薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于所述石墨烯散熱薄膜為一面背膠的薄膜,切割完成后需要將已經(jīng)切斷的保護(hù)粘性膠的紙揭掉,同時(shí)更換一張完整的紙來(lái)保護(hù)粘性膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于在所述塑封模具的上模安裝一組可拆卸的機(jī)械裝置,所述機(jī)械裝置包括三個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)和二個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2),其中兩個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)和一個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2)通過(guò)支撐桿(3)安裝于上模的前端,另一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)和固定卷軸(2)通過(guò)支撐桿(3)安裝于上模的后端,所述兩個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2)底部與上模模壁在同一水平線上,其中一個(gè)位于上模前端的可轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸(1)上安裝帶有承載膜的石墨烯薄膜,另一個(gè)位于上模前端的可轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸(1)用于收取從石墨烯薄膜上剝離的保護(hù)粘性膠的紙,位于上模后端的可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)用于收取承載膜,兩個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2)主要用于壓平石墨烯薄膜,使石墨烯薄膜緊貼上模模壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種在塑封過(guò)程中貼裝石墨烯散熱薄膜的方法,其特征在于在所述塑封模具的上模安裝一組可拆卸的機(jī)械裝置,所述機(jī)械裝置包括兩個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)和兩個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2),所述兩個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)分別通過(guò)支撐桿(3)安裝在上模的前端和后端,所述兩個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2)分別通過(guò)支撐桿(3)安裝于上模的前端和后端,所述兩個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2)底部與上模模壁在同一水平線上,其中位于上模前端的可轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸(1)上安裝帶有承載膜的石墨烯薄膜,位于上模后端的可轉(zhuǎn)動(dòng)卷軸(1)用于收取承載膜,兩個(gè)固定轉(zhuǎn)軸(2)主要起壓平石墨烯薄膜,使石墨烯薄膜緊貼上模模壁。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





