[發(fā)明專利]一種感應(yīng)加熱爐內(nèi)的鎢坩堝保護(hù)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410732779.6
• 申請(qǐng)日: 2014-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN104357912A
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史月增;徐永寬;齊海濤;張麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
• 主分類號(hào): C30B29/48
• 分類號(hào): C30B29/48;C30B35/00
• 代理公司: 天津中環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 12105
• 代理人: 王鳳英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)高溫PVT晶體生長中使用的鎢坩堝的保護(hù)，尤其涉及一種感應(yīng)加熱爐內(nèi)的鎢坩堝保護(hù)方法。

背景技術(shù)

鎢作為熔點(diǎn)最高的金屬廣泛應(yīng)用于高溫條件下的晶體生長，石墨保溫材料也是在高溫保溫環(huán)境下最常用保溫材料，但在高溫環(huán)境下，石墨保溫材料很容易與鎢發(fā)生反應(yīng)形成碳化鎢，鎢元件被快速碳化，以至破壞原有鎢元件結(jié)構(gòu)，使鎢元件發(fā)生變形開裂等問題，致使鎢元件失效。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供一種感應(yīng)加熱爐內(nèi)的鎢坩堝保護(hù)方法。本方法采用氮化硼圓桶與支架一起把鎢坩堝與石墨保溫層隔離開，以防止鎢坩堝被碳化。氮化硼圓筒和支架在不妨礙鎢坩堝的感應(yīng)加熱前提下，起到了保溫和隔絕石墨保溫層對(duì)鎢坩堝的污染的作用。

本發(fā)明采取的技術(shù)方案是：一種感應(yīng)加熱爐內(nèi)的鎢坩堝保護(hù)方法，其特征在于：本方法采用氮化硼圓桶與支架一起把鎢坩堝與石墨保溫層隔離開，其方法有如下步驟：

一.將耐高溫且不與碳反應(yīng)的支架放置在石墨保溫層上，支架有一個(gè)直徑大于氮化硼圓桶直徑的圓盤，用以減少石墨保溫層中的碳向鎢坩堝擴(kuò)散。

二.將鎢坩堝放置在支架圓盤中心上，將氮化硼圓桶放置在支架圓盤上，并且氮化硼圓桶分別與石墨保溫層、鎢坩堝之間留有縫隙，使氮化硼圓桶的外壁與石墨保溫層的內(nèi)壁不接觸，使氮化硼圓桶的內(nèi)壁與鎢坩堝的外壁不接觸，以防止在高溫下接觸后互相擴(kuò)散。

本發(fā)明產(chǎn)生的有益效果是：本方法采用氮化硼圓桶與支架一起把鎢坩堝與石墨保溫層隔離開，可極大地減慢鎢坩鍋的碳化過程。本方法使鎢坩鍋的使用壽命有很大的提高，在溫度為2200℃時(shí)，至少能使用350小時(shí)以上。

附圖說明

圖1是采用本方法組裝后的各部件位置剖視圖。

圖2是圖1中氮化硼圓桶剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明：

參照?qǐng)D1和圖2，本發(fā)明采用的氮化硼圓桶包括桶壁和桶底，氮化硼圓桶與石墨保溫層之間留有縫隙1-2mm，氮化硼圓桶與鎢坩堝之間留有縫隙2-5mm，桶內(nèi)的深度比鎢坩堝的高度大1-3mm，以保證安裝后氮化硼圓桶與鎢坩堝不接觸。

本發(fā)明在氮化硼圓桶的桶底上開一個(gè)測(cè)溫孔，用于測(cè)量氮化硼圓桶內(nèi)溫度。

實(shí)施例：1、將耐高溫且不與碳反應(yīng)的支架4（如碳化鉭、碳化鎢、未完全碳化的鉭片等材料）放置在石墨保溫層1上，要求支架4必須有一個(gè)大于氮化硼圓桶2直徑的圓盤，用以有效減少石墨保溫層1中的碳向鎢坩堝3擴(kuò)散。

2、將鎢坩堝3放置在支架4中心上，將氮化硼圓桶2放置在支架4上，即倒扣在鎢坩堝3上。本實(shí)施例設(shè)計(jì)的氮化硼圓桶與石墨保溫層之間留有縫隙為1.5mm，氮化硼圓桶與鎢坩堝之間留有縫隙為3mm，桶內(nèi)的深度比鎢坩堝的高度大2mm，以保證安裝后氮化硼圓桶與鎢坩堝不接觸。考慮到保溫因素，以上縫隙應(yīng)該在保證不接觸的前提下盡量小一些。

3、根據(jù)需要，在氮化硼圓桶的桶底上開一個(gè)盡可能小的測(cè)溫孔，用于測(cè)量氮化硼圓桶內(nèi)溫度。