[發明專利]一種風扇前網罩表面鈍化裝置

在審

• 申請號: 201410732336.7
• 申請日: 2014-12-06
• 公開（公告）號: CN104498930A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 周鋼
• 申請（專利權）人: 蘇州欣航微電子有限公司
• 主分類號: C23C22/73
• 分類號: C23C22/73
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種風扇前網罩表面鈍化裝置，包括底板，其特征在于：底板上設有第一支撐板與第二支撐板，第一支撐板與第二支撐板的高度相同，第一支撐板與第二支撐板呈豎直布置，第一支撐板與第二支撐板呈平行布置，第一支撐板與第二支撐板之間設有第一卡夾板，第一支撐板與第二支撐板之間設有第二卡夾板，第一卡夾板與第二卡夾板呈水平布置，第一卡夾板與第二卡夾板呈平行布置，第一卡夾板與第二卡夾板布置在第一支撐板與第二支撐板之間的端部；第二卡夾板設有第一驅動電機，第一驅動電機與第一卡夾板連接；第一驅動電機設有第一驅動管，第一驅動管套裝有第一驅動軸，第一驅動軸插接有第一驅動桿，第一驅動桿的端部設有第一限位環與第一鎖母，第一鎖母設置在第一限位環的下方，第一限位環與第一驅動桿為固定連接；第一鎖母與第一驅動桿為活動連接，第一鎖母與第一驅動桿通過螺紋連接；第二卡夾板設有第二驅動電機，第二驅動電機與第一卡夾板連接；第二驅動電機設有第二驅動管，第二驅動管套裝有第二驅動軸，第二驅動軸插接有第二驅動桿，第二驅動桿的端部設有第二限位環與第二鎖母，第二鎖母設置在第二限位環的下方，第二限位環與第二驅動桿為固定連接；第二鎖母與第二驅動桿為活動連接，第二鎖母與第二驅動桿通過螺紋連接；

底板上設有鈍化池，鈍化池內儲存有鈍化液，第一驅動桿的下端設置在鈍化池內，第二驅動桿的下端設置在鈍化池內，第一限位環、第一鎖母、第二限位環以及第二鎖母設置在鈍化池內；

第一卡夾板與第二卡夾板上設有鈍化液儲液罐，鈍化液儲液罐的端部設有端蓋，鈍化液儲液罐的下端設有輸液槽，輸液槽設有輸液針，輸液針呈豎直布置，輸液針的下端設置在鈍化池內；鈍化液儲液罐的下端內部設有第一過濾網與第二過濾網，第一過濾網與第二過濾網呈平行布置，第一過濾網與第二過濾網上設有過濾膜；鈍化液儲液罐的下端外側壁設有振動電機，第一過濾網、第二過濾網分別與振動電機連接；振動電機設置在支撐架上；支撐架設置在鈍化液儲液罐的下端外側壁。

2.根據權利要求1所述的風扇前網罩表面鈍化裝置，其特征在于：輸液針的下端設有第一出液球與第二出液球，第一出液球與第二出液球的表面為微孔質結構。

3.根據權利要求2所述的風扇前網罩表面鈍化裝置，其特征在于：第一出液球與第二出液球為球型形狀。

4.根據權利要求2所述的風扇前網罩表面鈍化裝置，其特征在于：第二出液球比第一出液球大。

5.根據權利要求1所述的風扇前網罩表面鈍化裝置，其特征在于：輸液針設有控制閥。

6.根據權利要求1所述的風扇前網罩表面鈍化裝置，其特征在于：鈍化池設有排液閥。