[發明專利]一種監控裝置以及磁控濺射設備

有效

• 申請號: 201410724890.0
• 申請日: 2014-12-03
• 公開（公告）號: CN104388907A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 陶鋒;付艷強;車奉周;贠向南;金相起
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/35
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種監控裝置，所述監控裝置設置于用于制作顯示基板的磁控濺射設備中，其特征在于，所述裝置包括：

用于產生提醒信號的提醒器件：

用于當磁控濺射設備內的水冷板發送位移時，觸發所述提醒器件產生提醒信號的觸發器件。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述提醒器件為在所述水冷板未發送位移時處于開路的提醒電路；

所述觸發器件能夠在所述水冷板發生位移時，在所述水冷板的作用下移動已導通所述提醒電路，使所述提醒電路產生提醒信號。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述提醒電路包括第一觸點、第二觸點、電源以及信號燈；

所述第一觸點和第二觸點之間在所述水冷板未發生位移時處于開路狀態，當所述觸發器件在所述水冷板的作用下移動時，所述觸發器件能夠使所述第一觸點和第二觸點之間形成電通路，以使信號燈在所述電源的作用下發光。

4.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述觸發器件包括：

當所述水冷板發生位移時，與所述水冷板接觸的接觸器件；

與所述接觸器件連接的支撐器件，所述支撐器件的第一端，與所述接觸器件遠離所述水冷板的一側連接；

用于實現提醒電路導通的金屬觸片，所述金屬觸片與所述支撐器件的第二端連接。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述接觸器件和所述支撐器件為絕緣材質。

6.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述支撐器件的第二端貫穿所述磁控濺射設備內，容納所述水冷板的腔室的側壁；

所述接觸器件設置于所述腔室之內；

所述金屬觸片設置于所述腔室之外。

7.如權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述觸發器件還包括一用于實現觸發器件復位的彈簧；

所述彈簧圍繞所述支撐器件設置；

所述彈簧的一端抵觸于所述接觸器件與支撐器件連接的側面，所述彈簧的另一端抵觸于所述腔室內側壁上。

8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述接觸器件、支撐器件和彈簧表面涂覆有樹脂涂層。

9.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述彈簧為高碳鋼材質。

10.一種磁控濺射設備，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項所述的裝置。