[發明專利]一種回收氯硅烷不凝尾氣的裝置有效
| 申請號： | 201410721644.X | 申請日： | 2014-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN104495854A | 公開（公告）日： | 2015-04-08 |
| 發明（設計）人： | 唐東昌;董海濤;朱明龍;李彥 | 申請（專利權）人： | 亞洲硅業（青海）有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司62002 | 代理人： | 李艷華 |
| 地址： | 810007青海省*** | 國省代碼： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 回收 硅烷 尾氣 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種回收氯硅烷不凝尾氣的裝置，其特征在于：該裝置包括氣氣換熱器（2）、尾氣吸收塔（4）、回流液直冷器（7）；所述氣氣換熱器（2）的一端分別設有尾氣進料管線（1）、系統尾氣出口（3），其另一端則分別設有管道Ⅰ（10）、管道Ⅱ（12）；所述尾氣吸收塔（4）的頂部設有氣相出口（9），其一側設有回流液入口（8）；所述管道Ⅱ（12）的末端與所述氣相出口（9）相連；所述管道Ⅰ（10）的末端與所述尾氣吸收塔（4）中塔釜的頂部相連；所述尾氣吸收塔（4）中塔釜內通過管道Ⅲ（11）連有氯硅烷輸送泵（5），該氯硅烷輸送泵（5）分別與所述回流液直冷器（7）的底部、管道Ⅳ（6）相連；所述回流液直冷器（7）的頂部通過管道Ⅴ（13）與所述回流液入口（8）相連。
2.如權利要求1所述的一種回收氯硅烷不凝尾氣的裝置，其特征在于：所述氣氣換熱器（2）為列管式換熱器。
3.如權利要求1所述的一種回收氯硅烷不凝尾氣的裝置，其特征在于：所述尾氣吸收塔（4）為兩段式填料塔，其中填料為鮑爾環的散堆填料。
4.如權利要求1所述的一種回收氯硅烷不凝尾氣的裝置，其特征在于：所述回流液直冷器（7）為浮頭式的U型管換熱器，其介質為-45℃~-50℃的氟利昂。
5.如權利要求1所述的一種回收氯硅烷不凝尾氣的裝置，其特征在于：所述氯硅烷輸送泵（5）為屏蔽泵。
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