[發明專利]渦輪分子泵有效
| 申請號： | 201410721317.4 | 申請日： | 2014-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN104819158A | 公開（公告）日： | 2015-08-05 |
| 發明（設計）人： | 筒井·慎吾 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 渦輪 分子 | ||
1.一種渦輪分子泵，其特征在于包括：
轉子，形成有多段旋轉葉片與圓筒部；
多段固定葉片，相對于所述多段旋轉葉片而交替地配置；
多個隔片，通過積層而將所述多段固定葉片定位；
定子，相對于所述圓筒部隔著間隙而配置；
基座，固定所述定子；
隔片冷卻部，以與積層的所述隔片的最下段隔片接觸的方式配置在所述最下段隔片與所述基座之間，且具有供冷卻液流通的第一流路；
加熱器，使所述定子升溫；
溫度傳感器，檢測所述定子的溫度；
基座冷卻部，形成有與所述第一流路串聯連接的第二流路，使所述基座冷卻；以及
溫度控制部，控制所述冷卻液向串聯連接的所述第一流路及所述第二流路的流通與所述加熱器的通電，而將所述定子的溫度維持在規定溫度。
2.根據權利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于，
所述第二流路的流出部連接于所述第一流路的流入部，以使所述冷卻液按所述第二流路、所述第一流路的順序流通。
3.根據權利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于，
所述第一流路的流出部連接于所述第二流路的流入部，以使所述冷卻液按所述第一流路、所述第二流路的順序流通。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的渦輪分子泵，其特征在于包括：
旁通配管，相對于串聯連接的所述第一流路及所述第二流路而并聯連接；以及
三通閥，選擇性地切換為第一流通狀態與第二流通狀態，所述第一流通狀態下所述冷卻液流通到所述第一流路及所述第二流路，所述第二流通狀態下所述冷卻液流通到所述旁通配管；且
所述溫度控制部控制所述加熱器的通電及利用所述三通閥在所述第一流通狀態與所述第二流通狀態之間的切換，而將所述定子的溫度維持在所述規定溫度。
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