[發(fā)明專利]全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410720717.3
• 申請(qǐng)日: 2014-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN105717878A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭睿;肖鵬;林立;謝慶國
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州瑞派寧科技有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其包括執(zhí)行模塊及上位機(jī)，所述執(zhí)行模塊包括控制溫度的中頻加熱模塊、控制晶體提拉速度的晶體提拉模塊、控制晶體旋轉(zhuǎn)速度的晶體旋轉(zhuǎn)模塊及對(duì)生長爐內(nèi)晶體重量進(jìn)行測量的稱重模塊，其特征在于：所述全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)還包括控制晶體生長及各模塊運(yùn)轉(zhuǎn)的控制模塊，所述控制模塊與上位機(jī)及執(zhí)行模塊分別進(jìn)行通信連接，所述上位機(jī)用于進(jìn)行生長參數(shù)設(shè)置和實(shí)時(shí)監(jiān)測，所述控制模塊與上位機(jī)在功能上相互獨(dú)立，所述控制模塊與稱重模塊通信以獲取稱重信號(hào)，所述控制模塊與中頻加熱模塊進(jìn)行通信以設(shè)置功率值和讀取中頻參數(shù)，所述控制模塊與上位機(jī)電腦通信以上傳監(jiān)測信號(hào)和接收操作命令，所述控制模塊包括可編程控制器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)包括對(duì)控制模塊進(jìn)行供電的不間斷電源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述控制模塊控制過程中以數(shù)字信號(hào)的方式傳輸稱重模塊獲取的稱重?cái)?shù)據(jù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：采用PID控制方式對(duì)中頻加熱模塊的功率進(jìn)行控制，所述控制模塊以數(shù)字信號(hào)的方式傳輸中頻加熱模塊的功率控制信號(hào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述控制模塊以數(shù)字信號(hào)的方式與上位機(jī)電腦通信。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述控制模塊主要基于該可編程控制器，運(yùn)用梯形圖語言和ST語言進(jìn)行編程完成對(duì)整個(gè)晶體生長過程的自動(dòng)控制。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述晶體提拉模塊包括第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和與第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)器連接的提拉電機(jī)，所述提拉電機(jī)的轉(zhuǎn)速采用控制模塊的高速脈沖輸出進(jìn)行控制。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述晶體提拉模塊包括與提拉電機(jī)配合的減速電機(jī)，所述第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)器采用雙脈沖工作方式。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述提拉電機(jī)采用五相步進(jìn)電機(jī)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述晶體旋轉(zhuǎn)模塊包括第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和與第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)器連接的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)速采用控制模塊的高速脈沖輸出進(jìn)行控制。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述晶體旋轉(zhuǎn)模塊包括與旋轉(zhuǎn)電機(jī)配合的減速電機(jī)，所述第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)器采用雙脈沖工作方式。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用五相步進(jìn)電機(jī)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)，其特征在于：所述全數(shù)字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統(tǒng)還包括安全監(jiān)控模塊，所述安全監(jiān)控模塊通過上位機(jī)顯示其監(jiān)控到的異常情況，上位機(jī)對(duì)異常情況進(jìn)行報(bào)警和記錄。