[發明專利]一種垂向調整裝置

有效

• 申請號: 201410718598.8
• 申請日: 2014-12-01
• 公開（公告）號: CN104390605A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 宗明成;武志鵬;王丹;宋澤宇;李世光
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/02
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉杰

1.一種垂向調整裝置，用于對硅片高度形貌探測裝置的投影光學部分和檢測光學部分進行調整和測試，其特征在于，所述垂向調整裝置包括：

反射鏡，用于將高度形貌探測裝置投影光學部分的測量光束反射到檢測光學部分；

垂向運動機構，所述反射鏡設置在所述垂向運動機構上表面，所述垂向運動機構承載所述反射鏡在垂直方向進行上下往復運動；

支撐底板，所述垂向運動機構設置在所述支撐底板上；

至少3個固緊安裝機構，所述固緊安裝機構一端固定在支撐底板上，另一端與所述硅片高度形貌探測裝置的計量框架固定連接，所述固緊安裝機構使得所述反射鏡的上表面與所述計量框架的基準平面平行。

2.如權利要求1所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述垂向調整裝置還包括反射鏡座，所述反射鏡座固定設置在所述垂向運動機構上表面，所述反射鏡固定在所述反射鏡座上。

3.如權利要求1所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述反射鏡上設有第一十字叉對準標記和第二十字叉對準標記，所述第一十字叉對準標記和所述第二十字叉對準標記的刻線分別平行于所述反射鏡的兩個邊。

4.如權利要求2所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述垂向運動機構包括支撐塊和垂向位移臺，所述垂向位移臺固定設置在所述支撐塊上，所述支撐塊固定設置在所述支撐底板上，所述反射鏡座設置在所述垂向位移臺上，所述垂向位移臺用于承載所述反射鏡在垂直方向進行往返掃描運動。

5.如權利要求4所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述支撐塊的厚度為可調整的。

6.如權利要求1所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述固緊安裝機構包括固緊安裝塊、螺紋桿、垂向微調套筒、第一固緊環和第二固緊環；所述固緊安裝塊固定在所述支撐底板上，所述螺紋桿位于所述垂向微調套筒內，并與所述垂向微調套筒螺紋連接，所述螺紋桿的上端與所述計量框架螺紋連接，使得所述垂向微調套筒的上端面與所述計量框架的下表面緊密接觸；所述垂向微調套筒設置在所述固緊安裝塊上的通孔內，所述垂向微調套筒兩端設有外螺紋，分別與所述第一固緊環和所述第二固緊環螺紋連接；所述第一固緊環和所述第二固緊環可調整所述垂向微調套筒上端面與所述反射鏡上表面的相對高度，并將所述垂向微調套筒固定在所述緊固安裝塊上。

7.如權利要求6所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述固緊安裝機構還包括螺絲，所述螺絲用于將所述垂向微調套筒固定在所述固緊安裝塊上。

8.如權利要求6所述的垂向調整裝置，其特征在于，所述固緊安裝機構還包括墊片和固緊螺母，所述固緊螺母與所述螺紋桿的下端緊密連接，所述墊片位于所述固緊螺母和所述第二固緊環之間。