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[發明專利]實時監測泄漏的潔凈工作臺無效

專利信息
申請號: 201410717617.5 申請日: 2014-12-01
公開(公告)號: CN104437705A 公開(公告)日: 2015-03-25
發明(設計)人: 吳峻;黃元磊;奚妙林 申請(專利權)人: 上海力申科學儀器有限公司
主分類號: B01L9/02 分類號: B01L9/02;B25H1/00
代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203 代理人: 沈履君
地址: 201706 上海市青*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 實時 監測 泄漏 潔凈 工作臺
【權利要求書】:

1.實時監測泄漏的潔凈工作臺,其特征在于,包括:

箱體,所述箱體為一側開口結構,所述箱體內部形成工作區;

檢測結構,所述檢測結構設置在所述箱體內、位于所述工作區上部;其中

所述檢測結構包括:

掃描移動平臺,所述掃描移動平臺設置在所述箱體內、位于所述工作區上部;

移動單元,所述移動單元設置在所述掃描移動平臺內;

掃描探頭,所述掃描探頭設置在所述移動單元上。

2.根據權利要求1所述的實時監測泄漏的潔凈工作臺,其特征在于,所述移動單元包括:

橫向導槽,兩根所述橫向導槽相向設置在所述掃描移動平臺內壁上;

縱向導軌,所述縱向導軌的兩端分別嵌入在兩根所述橫向導槽內。

3.根據權利要求2所述的實時監測泄漏的潔凈工作臺,其特征在于,所述掃描探頭設置在所述縱向導軌上。

4.根據權利要求1所述的實時監測泄漏的潔凈工作臺,其特征在于,在所述箱體內還設有均流板,所述均流板位于所述工作區上部、位于所述檢測結構下方。

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