[發明專利]一種模糊自整定PID的共擠層厚度在線控制方法有效
| 申請號: | 201410715039.1 | 申請日: | 2014-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN104391512A | 公開(公告)日: | 2015-03-04 |
| 發明(設計)人: | 程良倫;王濤;劉鴻城;吳維耀;徐記鳳 | 申請(專利權)人: | 廣東工業大學 |
| 主分類號: | G05D5/03 | 分類號: | G05D5/03;G05B13/04 |
| 代理公司: | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人: | 林麗明 |
| 地址: | 510006 廣東省廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 模糊 pid 共擠層 厚度 在線 控制 方法 | ||
1.一種模糊自整定PID的共擠層厚度在線控制方法,用于對共擠層厚度進行在線控制,其特征在于,包括:
S1.通過PID控制器獲取經驗PID參數
S2.構建模糊控制器,包括模糊控制器包括模糊器、模糊推理機、數據庫、規則庫和解模糊器;
S3.將經驗PID參數和給定薄膜厚度輸入模糊自整定PID控制器;
S4.將薄膜厚度偏差e(t)和薄膜厚度偏差的變化率De(t)做為模糊控制器的輸入,在模糊控制器內經過模糊化、映射模糊規則庫、解模糊處理,得出一組PID增益參數DKp、DKI、DKD,將該增益參數與經驗PID參數線性相加,獲取一組理想的PID參數:
S5.將獲取的薄膜厚度偏差e(t)和理想的PID參數做PID運算獲取執行機構的控制量u(t),其表示式如下:
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