[發(fā)明專利]一種模糊自整定PID的共擠層厚度在線控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410715039.1
• 申請(qǐng)日: 2014-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN104391512A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程良倫;王濤;劉鴻城;吳維耀;徐記鳳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G05D5/03
• 分類號(hào): G05D5/03;G05B13/04
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.一種模糊自整定PID的共擠層厚度在線控制方法，用于對(duì)共擠層厚度進(jìn)行在線控制，其特征在于，包括：

S1.通過PID控制器獲取經(jīng)驗(yàn)PID參數(shù)

S2.構(gòu)建模糊控制器，包括模糊控制器包括模糊器、模糊推理機(jī)、數(shù)據(jù)庫、規(guī)則庫和解模糊器；

S3.將經(jīng)驗(yàn)PID參數(shù)和給定薄膜厚度輸入模糊自整定PID控制器；

S4.將薄膜厚度偏差e(t)和薄膜厚度偏差的變化率De(t)做為模糊控制器的輸入，在模糊控制器內(nèi)經(jīng)過模糊化、映射模糊規(guī)則庫、解模糊處理，得出一組PID增益參數(shù)DK_p、DK_I、DK_D，將該增益參數(shù)與經(jīng)驗(yàn)PID參數(shù)線性相加，獲取一組理想的PID參數(shù)：

KP=KP0+ΔKP]]>

KI=KI0+ΔKI;]]>

KD=KD0+ΔKD]]>

S5.將獲取的薄膜厚度偏差e(t)和理想的PID參數(shù)做PID運(yùn)算獲取執(zhí)行機(jī)構(gòu)的控制量u(t)，其表示式如下：u(t)=KPe(t)+K1∫e(t)dt+KDde(t)dt,]]>執(zhí)行機(jī)構(gòu)的控制量u(t)作用在共擠機(jī)上，控制擠出量進(jìn)而控制薄膜的當(dāng)前厚度；上述薄膜厚度偏差e(t)是給定薄膜厚度與當(dāng)前薄膜厚度之差。