[發(fā)明專利]2-2型壓電復(fù)合材料及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410714519.6
• 申請(qǐng)日: 2014-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN105702851B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李永川;薛術(shù);錢明;鄭海榮;郭瑞彪;陳然然;蘇敏;劉廣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): H01L41/187
• 分類號(hào): H01L41/187;H01L41/35
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，包括以下步驟：

將一面覆有聚合物的壓電陶瓷片/單晶鐵電片置于離心機(jī)中，控制所述離心機(jī)的轉(zhuǎn)速和離心時(shí)間，使所述聚合物均勻澆注于所述壓電陶瓷片/單晶鐵電片的一面形成壓電復(fù)合材料陣元；

將所述壓電復(fù)合材料陣元上多余的壓電陶瓷/單晶鐵電和聚合物磨去，使所述壓電陶瓷片/單晶鐵電片及所述聚合物分別達(dá)到各自的預(yù)設(shè)厚度；

重復(fù)上述步驟得到所需數(shù)量的壓電復(fù)合材料陣元，將多個(gè)壓電復(fù)合材料陣元堆疊，并在結(jié)合面涂上聚合物，使多個(gè)壓電復(fù)合材料陣元粘接形成壓電復(fù)合材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，還包括將多個(gè)粘接在一起的壓電復(fù)合材料陣元沿垂直結(jié)合面的方向切割，形成單片的壓電復(fù)合材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，所述聚合物均勻澆注于所述壓電陶瓷片/單晶鐵電片一面中的聚合物厚度不超過20μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，在所述將所述壓電復(fù)合材料陣元上多余的壓電陶瓷和聚合物磨去的步驟之前還包括：

將所述壓電復(fù)合材料陣元置于清潔干燥的環(huán)境中晾干。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，還包括：將多個(gè)堆疊后的壓電復(fù)合材料陣元采用夾具固定夾緊，使多余的聚合物溢出。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，在所述將多個(gè)粘接在一起的壓電復(fù)合材料陣元沿垂直結(jié)合面的方向切割的步驟之前還包括：

將多個(gè)粘接在一起的壓電復(fù)合材料陣元采用夾具固定夾緊后置于清潔干燥的環(huán)境中晾干。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，所述將多個(gè)粘接在一起的壓電復(fù)合材料陣元沿垂直結(jié)合面的方向切割的步驟包括：

采用金剛石劃片機(jī)沿垂直結(jié)合面的方向切割多個(gè)粘接在一起的壓電復(fù)合材料陣元，形成壓電復(fù)合材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，采用磨床磨所述壓電復(fù)合材料的兩面，使所述壓電復(fù)合材料達(dá)到第二預(yù)設(shè)厚度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的2-2型壓電復(fù)合材料制備方法，其特征在于，用于粘接多個(gè)壓電復(fù)合材料陣元的聚合物厚度為1μm-2μm。

10.一種2-2型壓電復(fù)合材料，其特征在于，包括壓電陶瓷片/單晶鐵電片及聚合物；所述聚合物采用離心機(jī)澆注均勻澆注于所述壓電陶瓷片/單晶鐵電片的一面形成壓電復(fù)合材料陣元；所述壓電復(fù)合材料陣元置于磨床中磨去多余的壓電陶瓷/單晶鐵電和聚合物；使所述壓電陶瓷片/單晶鐵電片及所述聚合物分別達(dá)到各自的預(yù)設(shè)厚度；多個(gè)所述壓電復(fù)合材料陣元堆疊并在結(jié)合面涂上聚合物進(jìn)行粘接形成壓電復(fù)合材料。